[发明专利]用于生化检测的检测系统有效
| 申请号： | 201811260375.6 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109164157B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈希;刘洋;王晖;陈赵江;张筱燕;丁宇 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 曹玉琳 |
| 地址： | 321004 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法，包括基底、设置在基底上的镂空部分、位于镂空部分内的微薄膜、四个支撑微悬臂梁、支撑微悬臂梁上的MOSFET输出结构；四个支撑微悬臂梁相互对称设置，其一端与微薄膜相连，另一端与外部基底相连后固定，四个支撑微悬臂梁上的MOSEFET输出结构为一对对称设置的PMOS结构以及一对对称设置的NMOS结构。本发明使用方便，传感器抗干扰能力强，能够保证测量精度；传感器可采用MEMS加工制作，成本低廉，且能够保证传感器具有良好的一致性；该传感器及相应的检测系统通用性强，可用于生物医学、化学、食品安全、环境污染等领域中的检测和监控。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生化 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器，其特征在于：包括基底、设置在基底上的镂空部分、位于镂空部分内的微薄膜、四个支撑微悬臂梁、支撑微悬臂梁上的MOSFET输出结构；四个支撑微悬臂梁相互对称设置，其一端与微薄膜相连，另一端与外部基底相连后固定，四个支撑微悬臂梁上的MOSEFET输出结构为一对对称设置的PMOS结构以及一对对称设置的NMOS结构。
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