[发明专利]具有无载体的光学干涉滤波器的微透镜在审

专利信息
申请号: 201811235212.2 申请日: 2018-10-22
公开(公告)号: CN109713055A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: I·尤里格;A·基尔施纳;D·奥芬贝格;B·波伊奇克;B·绍斯纳;T·施密兹-许布施;M·福格特 申请(专利权)人: 英飞凌科技德累斯顿公司
主分类号: H01L31/0232 分类号: H01L31/0232;H01L31/18;G01N21/45
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱;张鹏
地址: 德国德*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 本公开涉及一种装置(10,12)以及一种用于制造装置(10,12)的方法。其中,该装置(10,12)主要包括具有光探测器(12)的基底(11)和布置在基底(11)上的介电质(18)。该装置(10,12)还包括布置在介电质(18)的第一侧(18a)上的微透镜(13),该微透镜被构造用于将射入的射线(14)偏转到光探测器(12)上。此外,该装置(10,12)包括无载体的光学的干涉滤波器(15),其中,微透镜(13)布置在光探测器(12)与干涉滤波器(15)之间,并且干涉滤波器(15)在背离光探测器(12)的侧(15a)上具有平坦的表面(17)。
搜索关键词: 光探测器 微透镜 干涉滤波器 介电质 无载体 基底 光学干涉滤波器 偏转 制造装置 射入 射线 平坦 背离
【主权项】:
1.一种装置(10,20),包括:基底(11),所述基底(11)具有光探测器(12),介电质(18),所述介电质(18)布置在所述基底(11)上,微透镜(13),所述微透镜(13)布置在所述介电质(18)的背离所述基底(11)的第一侧(18a)上,所述微透镜被构造用于将射入的射线(14)偏转到所述光探测器(12)上,以及无载体的光学的干涉滤波器(15),其中,所述微透镜(13)布置在所述光探测器(12)与所述干涉滤波器(15)之间,并且所述干涉滤波器(15)在背离所述介电质(18)的侧(15a)上具有平坦的表面(17)。
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