[发明专利]具有无载体的光学干涉滤波器的微透镜在审
| 申请号: | 201811235212.2 | 申请日: | 2018-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN109713055A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
| 发明(设计)人: | I·尤里格;A·基尔施纳;D·奥芬贝格;B·波伊奇克;B·绍斯纳;T·施密兹-许布施;M·福格特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技德累斯顿公司 |
| 主分类号: | H01L31/0232 | 分类号: | H01L31/0232;H01L31/18;G01N21/45 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱;张鹏 |
| 地址: | 德国德*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | 本公开涉及一种装置(10,12)以及一种用于制造装置(10,12)的方法。其中,该装置(10,12)主要包括具有光探测器(12)的基底(11)和布置在基底(11)上的介电质(18)。该装置(10,12)还包括布置在介电质(18)的第一侧(18a)上的微透镜(13),该微透镜被构造用于将射入的射线(14)偏转到光探测器(12)上。此外,该装置(10,12)包括无载体的光学的干涉滤波器(15),其中,微透镜(13)布置在光探测器(12)与干涉滤波器(15)之间,并且干涉滤波器(15)在背离光探测器(12)的侧(15a)上具有平坦的表面(17)。 | ||
| 搜索关键词: | 光探测器 微透镜 干涉滤波器 介电质 无载体 基底 光学干涉滤波器 偏转 制造装置 射入 射线 平坦 背离 | ||
【主权项】:
1.一种装置(10,20),包括:基底(11),所述基底(11)具有光探测器(12),介电质(18),所述介电质(18)布置在所述基底(11)上,微透镜(13),所述微透镜(13)布置在所述介电质(18)的背离所述基底(11)的第一侧(18a)上,所述微透镜被构造用于将射入的射线(14)偏转到所述光探测器(12)上,以及无载体的光学的干涉滤波器(15),其中,所述微透镜(13)布置在所述光探测器(12)与所述干涉滤波器(15)之间,并且所述干涉滤波器(15)在背离所述介电质(18)的侧(15a)上具有平坦的表面(17)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





