[发明专利]一种用于晶圆生产环境的静电检测装置

摘要

本发明涉及静电检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置；包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪上设置有探头；还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹簧和后转动柱；还包括两组固定块、两组拉板、两组连接杆、两组套簧和两组连接板，两组固定块上均设置有通口；还包括四组螺栓、四组螺母、四组支腿和四组转动杆，四组转动杆一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆另一端均设置有吸盘，四组支腿上均设置有第一通孔，四组转动杆上均设置有第二通孔，四组螺母与四组转动杆之间均设置有锁紧垫。

主权项

1.一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体（1）、连接导线（2）和探枪（3），静电检测仪本体（1）前侧壁设置有显示屏（32）、控制键组（33）和端口组（34），探枪（3）通过连接导线（2）与静电检测仪本体（1）连接，探枪（3）上设置有探头（4）；其特征在于，还包括前连接柱（5）、把手（6）、连接架（7）、前转动柱（8）、连接弹簧和后转动柱（9），前连接柱（5）安装在静电检测仪本体（1）顶端前方，把手（6）安装在连接架（7）上，前转动柱（8）的前端与连接架（7）连接，前转动柱（8）的后端穿过前连接柱（5）并伸出至前连接柱（5）后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱（9）前端连接；还包括两组固定块（10）、两组拉板（11）、两组连接杆（12）、两组套簧（13）和两组连接板（14），两组固定块（10）均安装在静电检测仪本体（1）左侧壁前侧和后侧，两组固定块（10）上均设置有通口，两组连接杆（12）一端分别与两组拉板（11）连接，两组连接杆（12）另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块（10）的内侧与两组连接板（14）连接，两组套簧（13）分别套装在两组连接杆（12）外侧，两组套簧（13）的一端分别与固定块（10）内侧壁连接，两组套簧（13）的另一端分别与两组连接板（14）外侧连接；还包括四组螺栓（15）、四组螺母（16）、四组支腿（17）和四组转动杆（18），四组支腿（17）分别安装在静电检测仪本体（1）底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆（18）一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆（18）另一端均设置有吸盘，四组支腿（17）上均设置有第一通孔，四组转动杆（18）上均设置有第二通孔，四组螺栓（15）分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母（16）内部，四组螺母（16）与四组转动杆（18）之间均设置有锁紧垫（19），四组锁紧垫（19）分别套装在四组螺栓（15）外侧。