[发明专利]脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法有效

专利信息
申请号: 201810913999.7 申请日: 2018-08-13
公开(公告)号: CN109422456B 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 金荣男 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: C03B33/033 分类号: C03B33/033;C03B33/03
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 玉昌峰;李罡
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法,能够通过在进行脆性材料基板的断开工序时使分离工作台通过三个轴同时动作来断开脆性材料基板从而防止因在断开的脆性材料基板的切割面上可能发生的碎裂、扭断现象而导致的不良。本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置包括:具有旋转部(110)的上部单元(100);具有升降支承部(210)和与所述升降支承部(210)的侧部接合的升降部(220)的中间单元(200);以及具有平板板件(320)和在所述平板板件(320)的下部沿长边方向移动的长边方向移动部(310)的下部单元(300)。
搜索关键词: 脆性 材料 倾斜 断开 装置 方法
【主权项】:
1.一种脆性材料基板的倾斜型断开装置,包括:上部单元,具有旋转部;中间单元,具有升降支承部和与所述升降支承部的侧部接合的升降部;以及下部单元,具有平板板件和在所述平板板件的下部沿长边方向移动的长边方向移动部。
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