[发明专利]一种二自由度电扫描装置有效

专利信息
申请号: 201810754734.7 申请日: 2018-07-11
公开(公告)号: CN110718432B 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 马国宇;王锦喆 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01J37/02 分类号: H01J37/02;H01J37/30;H01J37/317
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 101111 北京市通*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种二自由度电扫描装置,用于将斑点状离子束扫描成水平条形发散离子束,所述装置包括,基板(1),将电扫描装置安装在真空腔体上并具有真空密封作用;左扫描电极(2)与右扫描电极(6)成对使用,分别在两个扫描电极上施加不同的变化电压,这样离子束被水平扫开;通过在抑制电极(4)上施加负电压用于阻止二次电子向前传输;真空电极(5)用于真空腔室内外电压传输,在真空内分别连接两个扫描电极,在大气端连接扫描电源;驱动装置(3)和驱动装置(7)可以控制两个扫描电极相对束流中心做相向运动,同时还可以驱动两个扫描电极相对基板(1)同时前后移动。
搜索关键词: 一种 自由度 扫描 装置
【主权项】:
1.一种二自由度电扫描装置,其特征在于,包括:基板,将电扫描装置安装在真空腔体上并具有真空密封作用;左扫描电极与右扫描电极成对使用,分别在两个扫描电极上施加不同的变化电压,这样离子束被水平扫开;通过在抑制电极上施加负电压用于阻止二次电子向前传输;真空电极用于真空腔室内外电压传输,在真空内分别连接两个扫描电极,在大气端连接扫描电源;一个驱动装置可以控制两个扫描电极相对束流中心做相向运动,同时另一驱动装置还可以驱动两个扫描电极相对基板同时前后移动。/n
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