[发明专利]一种基于LCOS技术的LED曝光机在审
| 申请号： | 201810170337.5 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN110221524A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 孙雷;张洪波;张婧姣 | 申请（专利权）人： | 联士光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于LCOS技术的LED曝光机，包括LED光源、透镜组、积分棒、透镜组、偏振分光元件PBS、LCOS、投影系统和待曝光工件。其中LED光源发出的光通过透镜组会聚进入积分棒，经积分棒匀光后再通过透镜组和偏振分光元件PBS成像到LCOS上，LCOS反射后再经偏振分光元件PBS反射进入投影系统，通过投影系统投射到待曝光工件，使待曝光工件形成曝光。此曝光机并不需要掩膜形成图案，可减少工艺流程及生产成本。由于LCOS具有高分辨率特点，因而可以实现高分辨率高精度的曝光，此曝光机对于推动我国电子产品行业的发展具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光机 透镜组 偏振分光元件 曝光工件 投影系统 积分棒 高分辨率 反射 重要意义 曝光 工艺流程 投射 掩膜 匀光 电子产品 成像 生产成本 会聚 图案 | ||
【主权项】：
1.一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，包括LED光源（1）、透镜组（2）、积分棒（3）、透镜组（4）、偏振分光元件PBS（5）、LCOS（6）、投影系统（7）和待曝光工件（8），其中LED光源（1）发出的光通过透镜组（2）会聚进入积分棒（3），经积分棒（3）匀光后再通过透镜组（4）和偏振分光元件PBS（5）成像到LCOS（6）上，光源发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（5）反射后进入投影系统（7），通过投影系统（7）投射到待曝光工件（8），使待曝光工件（8）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，本发明所述曝光机可在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。
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