[发明专利]一种光学系统像面离焦量的检测方法

摘要

本发明实施例公开了一种光学系统像面离焦量的检测方法。本发明实施例中所提供的光学系统像面离焦量的检测方法，在干涉仪与光学系统齐焦光路的基础上，通过调整干涉仪使得其出射波前焦点不仅能准确落在光学系统像面的位置上，同时干涉仪出射波前会聚光和返回会聚光的主光线方向重合，从而拓展激光干涉仪的现有功能，能够准确的实现对光学系统像面离焦量的检测。进一步地，通过检测获得的离焦量可以评价光学系统的成像像质，从而提高光学系统装调效率和改善成像质量。

主权项

1.一种光学系统像面离焦量的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括以下步骤：步骤S1：调整自准直平面镜与光学系统的光轴垂直，从而形成轴上视场自准直光路；步骤S2：调整干涉仪与光学系统的相对位置，直至所述干涉仪在所述光学系统的轴上视场处于齐焦状态；步骤S3：调整像面反射镜与所述干涉仪的相对位置，直至所述干涉仪形成的干涉条纹为干涉仪标准镜的猫眼像，并记录此时像面反射镜调整机构的位置；步骤S4：调整所述自准直平面镜与所述光学系统的光轴的角度，从而形成待测视场自准直光路；步骤S5：调整所述像面反射镜离开光学系统像面的位置；并调整所述干涉仪与所述光学系统的相对位置，直至所述干涉仪在所述光学系统待测视场处于齐焦状态；步骤S6：根据所述记录的像面反射镜调整机构的位置，调整像面反射镜到光学系统像面的位置；并调整所述干涉仪与所述像面反射镜的相对位置，直至所述干涉仪形成的干涉条纹为干涉仪标准镜的猫眼像；步骤S7：调整所述像面反射镜离开光学系统像面位置，并调整所述干涉仪与所述光学系统的相对位置，直至所述干涉仪标准波前与经所述光学系统返射的波前形成干涉条纹中，由所述光学系统离焦引起的环形条纹中心处在所述干涉仪视场中心位置；步骤S8：迭代操作步骤S6和步骤S7，直至所述干涉仪出射波前会聚点落在所述像面反射镜上，同时所述干涉仪出射波前会聚光和返回会聚光的主光线方向重合；步骤S9：调整所述像面反射镜离开光学系统像面的位置，并采用所述干涉仪检测所述光学系统像面待测视场的离焦量。