[发明专利]一种太阳能电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的制作方法，所述方法包括如下步骤：首先单晶硅湿法制程获得金字塔状的绒面；然后在单晶硅表面获得本征非晶硅层和P型掺杂非晶硅层、N型掺杂非晶硅层，形成PN结的电池片；接着在已形成PN结的电池片上溅射一层透明导电膜TCO和种子层；再采用涂布油墨在电池片表面包覆感光油墨；接着对电池片烘干再进行曝光、显影，在电池片两面的油墨上同时完成图形转移；再通过电沉积在油墨的图形上沉积形成栅线；接着用碱性溶液将电池片双面多余的油墨去除；最后通过水平化学蚀刻的方法将电池片表面的种子铜去除，并清洗吹干。本发明可以快速、大批量的、低成本的实现在电池片完成栅线图形转移部分，完成太阳能电池的制作。

主权项

1.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：单晶硅通过湿法制程获得金字塔状的绒面；通过PECVD的方法在单晶硅表面获得本征非晶硅层和P型掺杂非晶硅层、N型掺杂非晶硅层，形成PN结的电池片；通过PVD的方法在已形成PN结的电池片上溅射一层透明导电膜TCO和种子层；采用涂布油墨的方法在电池片表面均匀包覆感光油墨；对包覆感光油墨后的电池片进行烘干再进行曝光、显影，在电池片两面的油墨上同时完成图形转移；通过电沉积的方法在油墨的图形上沉积形成栅线；用碱性溶液将电池片双面多余的油墨去除；通过水平化学蚀刻的方法将电池片表面的种子铜去除，并清洗吹干。