[发明专利]在测量桌上检测掩模夹具的位置的方法有效
| 申请号： | 201780025059.8 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN109073991B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | H-M.索罗万 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/03;G03F1/84;H01L21/67;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测光刻掩模(2)的掩模夹具(1)的位置的方法，该方法包含以下步骤：在测量设备的测量桌上定位具有掩模(2)的掩模夹具(1)；通过算法测量掩模夹具(1)；记录测量桌上的掩模夹具(1)的绝对位置；以及捕获和记录至少一个参考图像。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 桌上 检测 夹具 位置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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