[发明专利]用于传感元件和传感器装置的制造方法

摘要

一种用于制造作为用于传感器装置(15)的传感元件(12)的线圈的方法，包括以下步骤：对生片(1、2、3)的可选回火，冲出用于穿通接触部的孔(1a)，通过激光形成通道(2b)和穿通接触部(2a)，在通道(2b)和孔(2a)中进行金属浆料(6)的模版印刷，对填充有金属浆料(6)的通道(2d)之间的残余金属化部进行可选的激光清理，将陶瓷实体原料对准、叠置、干燥和烧结，用于形成包括传感元件(12)的瓷块(8)，和最后将传感元件(12)与瓷块(8)分离。还提供一种通过该方法制造的线圈(11)和传感元件(12)，用于制造用于涡轮增压器(22)的传感器装置(15)。

主权项

1.一种用于制造至少包括无源电气部件(11)的传感元件(12)的方法，包括的步骤是：a)冲出孔(1a)，用于在至少一个生片(1)中形成穿通接触部，其中穿通接触部是无源电气部件(11)的一部分(11)，b)通过对至少一个生片(2)进行激光加工来形成通道(2b)和穿通接触部(2a)，用于接收金属浆料(6)，其中经金属化的通道和通孔(2d、2c)是无源电气部件(11)的一部分，c)对在通道(2b)和孔(1a，2a)中包括金属浆料(6)的生片(1、2)进行模版印刷和干燥，用于形成经金属化的通道(2d)和经金属化的通孔(1b，2c)，d)将所有生片(1、2、3)对准、叠置、层叠并烧结在一起，用于形成烧结瓷块(8)，和e)将烧结瓷块(8)的各线圈分离，以便获得完成的传感元件12。