[实用新型]一种单晶硅炉炉盖

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅炉炉盖，包括盖体、副室连接法兰和真空球，盖体的底端固定设有固定圈，盖体顶端的中心固定设有连接管，连接管的一侧安装有翻板阀，连接管的顶端固定设有副室连接法兰，盖体一侧的外壁固定设有抽真空管，抽真空管的顶端固定连接有真空球，真空球的内壁上安装有真空传感器。本实用新型抽真空口通过真空球与盖体连接的设计，可以避免抽真空时连接不紧密造成的真空压力不足，提高抽真空的效果；设有的真空传感器可以时刻检测盖体内部的真空压力，通过显示屏将真空压力值直观的显示出来，便于操作者将炉内的真空压力控制在准确的范围内，提高单晶硅的品质。

主权项

1.一种单晶硅炉炉盖，包括盖体(1)、副室连接法兰(4)和真空球(9)，其特征在于，所述盖体(1)的底端固定设有固定圈(2)，所述盖体(1)顶端的中心固定设有连接管(3)，所述连接管(3)的一侧安装有翻板阀(5)，所述连接管(3)的顶端固定设有副室连接法兰(4)，所述盖体(1)一侧的外壁固定设有抽真空管(8)，所述抽真空管(8)的顶端固定连接有真空球(9)，所述真空球(9)的内壁上安装有真空传感器(15)，所述真空球(9)的顶端设有抽真空口(10)，所述盖体(1)另一侧的外壁依次固定设有三个温度检测管(12)，三个所述温度检测管(12)内部均安装有温度检测仪(13)，所述盖体(1)正面的中部开设有观察槽(6)，所述盖体(1)的外壁上安装有显示屏(11),所述显示屏(11)与真空传感器(15)电性连接。