[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201721079953.7 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN207331058U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨姗姗;崔大林 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;福州京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及金属镀膜技术领域，公开了一种镀膜装置，以改善基板在镀膜时受热不均的现象，提高镀膜品质。镀膜装置包括镀膜腔室以及设置于所述镀膜腔室内的基板支撑结构、加热装置和驱动装置，其中：所述基板支撑结构包括多个支撑单元；所述加热装置包括具有多个通孔的加热板体以及对应每个通孔设置的加热填充部，所述多个通孔与所述多个支撑单元一一对应套装，所述加热填充部位于所述支撑单元内，所述加热填充部通过滑动装配于所述支撑单元的连接部与所述通孔内壁连接；所述驱动装置用于驱动所述加热装置沿支撑方向运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括镀膜腔室以及设置于所述镀膜腔室内的基板支撑结构、加热装置和驱动装置，其中：所述基板支撑结构包括多个支撑单元；所述加热装置包括具有多个通孔的加热板体以及对应每个通孔设置的加热填充部，所述多个通孔与所述多个支撑单元一一对应套装，所述加热填充部位于所述支撑单元内，所述加热填充部通过滑动装配于所述支撑单元的连接部与所述通孔内壁连接；所述驱动装置用于驱动所述加热装置沿支撑方向运动。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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