[发明专利]一种InAs真空计及真空度测试方法有效
申请号: | 201711474894.8 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108303210B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 任平 | 申请(专利权)人: | 上海电力学院 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 赵志远 |
地址: | 200090 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种InAs真空计及真空度测试方法,真空计包括腔体、设置在腔体内部的肖特基结、与肖特基结两端连接的真空电极、通过真空电极与肖特基结连接的外接源表以及与腔体内部连通的气源,所述腔体设有一个连接口,所述连接口通过管路与待测环境连通;测试时,保持腔体内气压稳定,连接腔体和待测环境,利用外接源表测试肖特基结的I‑V曲线,并与已知真空度下的I‑V曲线相比较,获得待测环境的压强。与现有技术相比,本发明最大的优点是制备方法简单,容易操作,测试精度高,耐用,容易推广应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 inas 真空计 真空 测试 方法 | ||
【主权项】:
1.一种InAs真空计,其特征在于,该真空计包括腔体、设置在腔体内部的肖特基结、与肖特基结两端连接的真空电极、通过真空电极与肖特基结连接的外接源表以及与腔体内部连通的气源,所述腔体设有一个连接口,所述连接口通过管路与待测环境连通。
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