[发明专利]一种铜互连阻挡层材料用吡啶基Mn(Ⅱ)化合物有效
| 申请号： | 201711351136.7 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108047274B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 杜立永;余绍山;丁玉强 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | C07F13/00 | 分类号： | C07F13/00;C07D213/74;C07F7/10;H01L23/532 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 214122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜互连阻挡层材料用吡啶基Mn(Ⅱ)化合物，属于微电子材料技术领域。本发明所得到的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物可以用作CVD/ALD的前驱体，通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)工艺，制备Mn基薄膜如MnSiOx。本发明的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物(1)合成方法简便，条件温和，大大降低了前驱体材料的合成成本；(2)在正己烷，甲苯，乙醚，二氯甲烷，四氢呋喃等有机溶剂中都有较好的溶解性，使得材料运输，输送，加工过程变得简便易操作；(3)有良好的挥发性和热稳定性，常压下三甲基硅氨基吡啶锰前驱体的T50为255℃，最小残余量达3.3％；(4)具有良好的成膜性能，三甲基硅氨基吡啶锰前驱体以N2为载气，O2为氧源450℃条件下，可形成良好的CVD MnSiOx膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 互连 阻挡 材料 吡啶 mn 化合物 | ||
【主权项】：
1.一种具有通式(Ⅰ)的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物：![]()
其中，R为氢原子、C1～C6烷基、C2～C5链烯基、C3～C10环烷基、C6～C10芳基或—Si(R1)3，R1为C1～C6烷基。
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，b=9.7286(19)
，c=13.174(3)
，α=γ=90°，β=96.35(3)°，V=1683.2(6)
，Z=8；其是以四水合乙酸锰和2,6‑吡啶二羧酸为原料，采取水热法制得。本发明工艺简单，成本低廉，所得锰基配位化合物对慢性粒细胞白血病细胞株K562和食管癌细胞株OE‑19具有较好的抑制作用，有望用于制备成相应的抗肿瘤药物。
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- 本发明公开了一种有机金属固体发光材料及制备方法，其材料具有ABC3‑xDx或A2BC4‑xDx分子结构；式中：A为有机胺，B为金属离子，C和D为相同或不同的卤素离子，x值为0到3；其中：所述有机胺为二异丙胺、甲胺、乙胺、咪唑或咪唑衍生物；所述金属离子为锰、镉、锌或铜；其制备方法是通过有机胺和金属盐在溶液中生长出晶体得到所述发光材料。本发明材料其发光范围处于可见光范围内，发光量子产率高。其制备方法操作步骤简单，成本低，易于实施，并且安全、环保。
- 一种二吡唑硼酸盐锰配合物Mn[BBN(pz)2]2(pz)的制备方法-201810740544.X
- 赵茜怡;关新婷;张絜;陈学年 - 河南师范大学
- 2018-07-07 - 2018-09-04 - C07F13/00
- 本发明公开了一种二吡唑硼酸盐锰配合物Mn[BBN(pz)2]2(pz)的制备方法，在无水无氧的条件下将Na[(BBN)Bp]和MnCl2加入反应容器中，然后加入THF溶液室温搅拌10‑13小时可制得纯净的目标产物Mn[BBN(pz)2]2(pz)。本发明操作简单，合成了一种新型的二吡唑硼酸盐金属配合物并可应用于规模化生产。
- 一种二吡唑硼酸盐锰配合物的制备方法-201810740565.1
- 赵茜怡;关新婷;张絜;陈学年 - 河南师范大学
- 2018-07-07 - 2018-09-04 - C07F13/00
- 本发明公开了一种二吡唑硼酸盐锰配合物的制备方法，在无水无氧的条件下将Na[(BBN)BpMe]和MnCl2加入反应容器中，然后加入THF溶液室温搅拌10‑13小时制得纯净的目标产物二吡唑硼酸盐锰配合物Mn[BBN(3‑Me‑pz)2]2(3‑Me‑pz)。本发明操作简单，合成了一种新型的二吡唑硼酸盐金属配合物并可应用于规模化生产。
- 一种锰配合物晶体-201810018591.3
- 罗梅;英旭;汪吉杭;库浩龙;刘南松 - 合肥工业大学
- 2018-01-09 - 2018-06-22 - C07F13/00
- 一种锰配合物晶体，其化学式如下：
该配合物晶体(I)的合成方法，分别用分析天平称取四氰乙烯和四水合醋酸锰1.2807g、0.4907g倒入圆底烧瓶中，用无水甲醇(约40ml)作溶剂，放在圆底烧瓶中进行反应，回流反应48小时后，热过滤，用保鲜膜封住，扎几个小洞，几天后又进行了重结晶，有棕褐色晶体出现；该配合物晶体(I)的用途是在苯甲醛与苯甲酰胺的反应中显示了较好的催化性能，其转化率达99％。
- 一种具有磁性、吸附双功能吡啶类配体锰金属配合物及其制备方法-201510525204.1
- 赵强;沈芝;于林涛;张旭;杨浩 - 南阳师范学院
- 2015-08-25 - 2018-05-01 - C07F13/00
- 本发明公开了一种具有磁性、吸附双功能吡啶类配体锰金属配合物及其制备方法，该配合物为4'‑(4‑(1氢‑咪唑基)苯基)‑2,2'6',2''‑三联吡啶及与对苯二酸的锰金属配合物，化学式为[Mn3(MPTP)(TBDA)1.5]，其具有磁性和吸附功能，可作为磁性材料在能量转换或储存等领域广泛应用。该制备方法是将制得的配体溶液、辅助配体溶液和金属盐溶液通过化学反应、恒温加热后冷却得到，该方法工艺简单，产率高，可重现性好。
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