[发明专利]可编程控制器扩散炉控制系统及操作方法在审
| 申请号： | 201711274350.7 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109881256A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 苗洪敏 | 申请（专利权）人： | 苗洪敏 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 | 代理人： | 沈志海 |
| 地址： | 225129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种扩散炉控制系统及其操作方法，属于半导体制造设备技术领域，控制系统采用可编程控制器PLC作为核心元件的扩散炉温度控制、气体流量控制系统以及工艺要求的各种连锁控制的主要元部件构成；操作步骤包括：工艺曲线设置、手动操作、自动运行、升降温斜率控制、待机、运行中保持、人工跳步、智能PID控制、历史曲线查看、超温检测报警、通讯故障检测、气路流量检测报警、气路联锁保护、系统误差修正以及PID参数自整定。本发明系统组成新颖，工作原理清晰，控制功能多样且操作方便，炉体的温度、气路状态显示更为明确清晰，进一步满足了半导体制造业扩散工艺的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 扩散炉 气体流量控制系统 可编程控制器PLC 半导体制造设备 报警 半导体制造业 可编程控制器 通讯故障检测 系统误差修正 工艺曲线 工艺要求 工作原理 核心元件 控制功能 扩散工艺 历史曲线 联锁保护 连锁控制 气路流量 气路状态 斜率控制 自动运行 元部件 自整定 清晰 检测 待机 超温 炉体 气路 跳步 升降 智能 | ||
【主权项】：
1.可编程控制器扩散炉控制系统，其特征在于：所述控制系统采用可编程控制器PLC作为核心元件的扩散炉温度控制、气体流量控制系统以及工艺要求的各种连锁控制的主要元部件构成；所述可编程控制器PLC选用德国产的西门子S7‑200 CPU216、EM231及EM232作为系统的智能控制核心单元，负责系统的工艺运行控制，温度检测，故障检测，超温报警，温控仪参数设定，气路质量流量计控制，气路故障检测，工艺要求的各种的联锁控制，实时报警等；所述的稳定性是采用日本SHIMADEN产的温度控制仪表SR23，透过数字通讯接口与控制核心进行实时数据交换，有效消除了导线传输模拟信号的衰减，SR23本身就是一个智能控制器，具有智能PID算法，在PLC的控制之下输出4～20mA电流信号驱动功率驱动板，因为电流信号传输没有损耗，所以对炉温能实现精确稳定的温度控制；所述气体流量控制系统控制通过PLC的模拟量控制，进行氢气和大流量氧气质量流量控制器的设定和气路的实时检测反馈，通过PLC的自由口通讯实现氮气和小流量氧气质量流量控制器的设定及气路和实时检测反馈，操作人员通过触摸屏可设定流量大小并查看实际流量。
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- 专利分类
