[发明专利]一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法有效

专利信息
申请号: 201711246543.1 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN107797268B 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 黎相孟;崔学良;祝锡晶;王建青;赵韡;于瑞恩 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: G02B26/00 分类号: G02B26/00;G02B3/14
代理公司: 14112 太原新航路知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人: 王勇
地址: 030051 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及微透镜制造技术,具体是一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法。本发明解决了现有微透镜制造方法无法制造出全表面增透的微透镜的问题。一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法,该方法是采用如下步骤实现的:S1:选取热氧化高掺杂硅晶圆;S2:形成第一单层纳米粒子薄膜;S3:施加聚合物液滴;S4:聚合物液滴变形成为液态透镜;S5:将电极从液态透镜中抽出;S6:液态透镜固化成为固态透镜;S7:将纳米粒子悬浮液中的纳米粒子捕捞至固态透镜的曲面;S8:形成第二单层纳米粒子薄膜;S9:在固态透镜的曲面形成纳米锥阵列结构;S10:去除第二单层纳米粒子薄膜;S11:将固态透镜剥离下来。本发明适用于微透镜的制造。
搜索关键词: 一种 全增透 嵌入式 纳米 复合 透镜 润湿 调控 成形 方法
【主权项】:
1.一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法,该方法是采用如下步骤实现的:/nS1:选取热氧化高掺杂硅晶圆(1),并对热氧化高掺杂硅晶圆(1)进行预处理;然后,采用步进提拉法将纳米粒子悬浮液(2)中的纳米粒子捕捞至热氧化高掺杂硅晶圆(1)的表面;/n其特征在于:该方法还包括如下步骤:/nS2:在热氧化高掺杂硅晶圆(1)的表面形成第一单层纳米粒子薄膜(3),并对第一单层纳米粒子薄膜(3)进行低表面能处理;/nS3:采用数字微量注射器(4)在第一单层纳米粒子薄膜(3)的表面施加聚合物液滴(5);/nS4:选取交流电源(6)和电极(7),并将交流电源(6)的两端分别与电极(7)和热氧化高掺杂硅晶圆(1)的导电面连接;然后,将电极(7)插入聚合物液滴(5)中,并接通交流电源(6),由此使得聚合物液滴(5)在电场作用下变形成为液态透镜(8),同时使得液态透镜(8)对第一单层纳米粒子薄膜(3)的表面实现微观浸润,进而使得第一单层纳米粒子薄膜(3)嵌入液态透镜(8)的平面;/nS5:断开交流电源(6),并将电极(7)从液态透镜(8)中抽出;/nS6:采用紫外灯箱对液态透镜(8)进行辐照,由此使得液态透镜(8)固化成为固态透镜(9);/nS7:采用自组装方法将纳米粒子悬浮液(2)中的纳米粒子捕捞至固态透镜(9)的曲面;/nS8:在固态透镜(9)的曲面形成第二单层纳米粒子薄膜(10);/nS9:以第二单层纳米粒子薄膜(10)为掩蔽层,采用反应离子刻蚀方法对固态透镜(9)的曲面进行亚微米刻蚀加工,由此在固态透镜(9)的曲面形成纳米锥阵列结构(11);/nS10:去除第二单层纳米粒子薄膜(10);/nS11:采用真空吸附法将固态透镜(9)剥离下来,由此得到全增透嵌入式纳米复合透镜。/n
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  • 本发明公开一种可以调节光线强弱及颜色的玻璃,包括玻璃框,所述玻璃框的边角处皆设置有安装孔,且安装孔的内部皆设置有限位机构,所述玻璃框的内顶部设置有第一放卷机构,且玻璃框的内底部设置有第一收卷机构,所述第一放卷机构与第一收卷机构之间设置有调光板;本发明设有第一放卷机构、第一收卷机构与调光板组成的光线调节机构,通过对调光板面上透明板与半透明板的位置的转变,能够在使用的过程中对光线的强弱程度进行调节,且第二放卷机构、第二收卷机构与调色板组成的调色机构的设置,通过调色机构内部调色板面上七彩面的设置,能够在使用的过程中改变光照透过之后的颜色,提高了玻璃的功能性,实用性更高。
  • 显示单元及其驱动方法、显示装置-201810002329.X
  • 王志东;邱云 - 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
  • 2018-01-02 - 2019-12-03 - G02B26/00
  • 本公开提供一种显示单元及其驱动方法,以及显示装置,涉及显示技术领域。该显示单元包括相对设置的第一衬底和第二衬底,位于第一衬底和第二衬底之间的侧壁,位于第一衬底上的第一电极,以及第二电极,该第二电极位于第一电极背离第二衬底一侧且位于第一衬底背离第二衬底一侧,第二电极与第一电极之间电绝缘;第一衬底、第二衬底、以及侧壁构成第一腔室,第一衬底设有通孔,第二衬底为透明衬底;第一电极与第二电极之间形成第二腔室,第二腔室通过通孔与第一腔室连通,第二腔室内设置有工作流体,该工作流体能够通过通孔进入第一腔室并改变第一腔室的光学特性。本公开可避免粒子团聚以提升显示效果,同时还能拓宽显示方式。
  • 具有减少的相位延迟的液体透镜控制系统及方法-201910425380.6
  • 雷蒙德·米勒·卡拉姆 - 康宁公司
  • 2019-05-21 - 2019-11-29 - G02B26/00
  • 液体透镜包括诸如陀螺仪之类的方位传感器,以补偿运动的影响。包括噪声分量的原始陀螺仪信号可以被提供至控制器,而不被相移滤波器处理。一个或多个滤波器可以被应用于所述原始陀螺仪信号以允许一频带通过,而不会引入相位延迟。所述控制器可以使用前馈系统,以至少部分地基于包括噪声分量的原始陀螺仪信号产生控制输出信号。所述控制输出信号可被用于将电压信号驱动到电极以补偿运动。
  • 液体透镜和制造液体透镜的方法-201910425385.9
  • 迈克尔·安兹洛瓦;罗伯特·艾伦·贝尔曼;世文·刘;伊尼斯·威斯塔 - 康宁公司
  • 2019-05-21 - 2019-11-29 - G02B26/00
  • 在一些实施例中,一种图案化绝缘层的方法可包括显影掩模层的第一部分以暴露绝缘层的第一部分。该方法可进一步包括选择性蚀刻绝缘层的第一部分以暴露导电层的一部分,其包括与掩模层的第一部分对应的第一图案。该方法可进一步包括除去掩模层的第二部分以暴露绝缘层的第二部分,其包括与掩模层的第二部分对应的第二图案且表面能低于40mJ/m2。在另一实施例中,一种液体透镜可包括在设置于腔内的极化液体和非极化液体之间形成透镜的界面。该界面可与表面能低于40mJ/m2的绝缘层的表面相交。
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