[发明专利]微机电装置在审
| 申请号： | 201710984509.8 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN109696165A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 罗炯成;林炯文;任颉 | 申请（专利权）人： | 立锜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微机电装置，包含：一基板；至少两个驱动元件，设置于基板上；两个可移动结构，分别连接于至少两个驱动元件；以及至少两个内部质量结构或至少一个内部质量结构与至少两个外部质量结构，内部质量结构连接于两个可移动结构之间，外部质量结构连接于两个可移动结构外侧。响应于微机电装置的运动，内部质量结构产生旋转运动，而外部质量结构产生反向位移。各质量结构间不直接以挠性结构连接，以降低耦合效应。 | ||
| 搜索关键词： | 质量结构 可移动结构 微机电装置 驱动元件 基板 外部 反向位移 挠性结构 耦合效应 响应 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置，其特征在于，包含：一基板；至少两个驱动元件，设置于该基板上；两个可移动结构，分别连接于该至少两个驱动元件；以及至少两个内部质量结构，分别连接于该两个可移动结构之间、或分别连接于至少一个该可移动结构与一锚点之间，其中该锚点连接于该基板；其中，该至少两个驱动元件提供该两个可移动结构于一第一方向上的反向运动，由此使该至少两个内部质量结构分别产生内部旋转运动；且其中该至少两个内部质量结构间，由至少一个该可移动结构相隔、及/或该至少两个内部质量结构间，经由该锚点而连接于该基板，由此，使该至少两个内部质量结构间的耦合效应，与该至少两个内部质量结构间以连杆或挠性结构相连接的结构相较，得以降低。
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