[发明专利]基底抛光系统及基底抛光方法有效
| 申请号： | 201710691541.7 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107717713B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 赵玹辰;裴俊和;秋秉权;姜秉薰;千俊赫;崔贞惠;丁荣镐;曹雨辰 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B37/11;B24B37/27;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基底抛光系统和使用该基底抛光系统的基底抛光方法，该基底抛光系统包括：抛光机和基底输送器。抛光机包括：下表面板，安装有基底；以及上表面板，面对下表面板并且与下表面板协作抛光基底，上表面板具有比安装在下表面板上的基底的面积大的面积。基底输送器与抛光机相邻，并且在第一方向上将基底输送到抛光机并从抛光机输送基底，基底输送器在抛光基底之前将基底附着到下表面板，并且在抛光基底之后将基底与下表面板分离。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 抛光 系统 方法 | ||
【主权项】：
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