[发明专利]修整的监视方法以及研磨装置有效

专利信息
申请号: 201710599619.2 申请日: 2013-08-27
公开(公告)号: CN107263320B 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 筱崎弘行 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;王娟娟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种修整的监视方法以及研磨装置,其能够将修整器对研磨垫的作功数值化并在研磨垫的修整中监视研磨垫的修整。所述方法是,一边使支承研磨垫(22)的研磨台(12)旋转,并使修整器(50)沿研磨垫(22)的半径方向摆动,一边将修整器(50)按压于旋转的研磨垫(22)而修整研磨垫(22),在研磨垫(22)的修整中,计算出表示作用在修整器(50)与研磨垫(22)之间的摩擦力与按压力之比的作功系数(Z),并基于作功系数(Z)来监视研磨垫(22)的修整。
搜索关键词: 研磨垫 修整 修整器 监视 作功 研磨装置 按压 按压力 数值化 研磨台 摆动 支承
【主权项】:
1.一种研磨垫的修整的监视方法,其特征在于,使支承研磨垫的研磨台旋转,一边使修整器沿所述研磨垫的半径方向摆动,一边将所述修整器按压于旋转的所述研磨垫而修整所述研磨垫,在所述研磨垫的修整中,由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的移动距离之积计算出所述修整器的作功量,由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的每单位时间的移动距离之积计算出所述修整器的功率,基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率来确定所述修整器的剩余寿命,若将所述修整器的剩余寿命设为Tend,将所述修整器的容许总作功量设为W0,将所述修整器的作功量的累积值设为W1,将所述功率设为P,则所述修整器的剩余寿命由Tend=(W0‑W1)/P来表示。
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  • 本实用新型提供了一种化学机械研磨的抛光垫图像检测系统。化学机械研磨的抛光垫图像检测系统包括:图像采集装置及图像对比处理装置。通过对比待检测抛光垫的表面形貌图像与对应的目标抛光垫表面形貌图像,确定并修复待检测抛光垫的表面缺陷。本实用新型提供的化学机械研磨的抛光垫图像检测系统提高了抛光垫表面缺陷检测的效率和准确性,降低晶圆出现刮伤报废的风险,改善了晶圆良品率。
  • 一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置-201821006647.5
  • 吴虎 - 武汉新芯集成电路制造有限公司
  • 2018-06-28 - 2019-02-01 - B24B53/017
  • 本实用新型公开了一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置,包括腔室、密封腔体、轴衬、推进轴和复位弹簧,轴衬伸入密封腔体内向密封腔体充入空气,密封腔体可上下伸缩变形,推进轴的推进轴顶盖固定安装在密封腔体的底部位置,推进轴的推进轴本体一端垂直安装在柔性板上,另一端固定安装在推进轴顶盖上,复位弹簧缠绕在推进轴本体上,复位弹簧的顶端固定安装在推进轴顶盖上,另一端固定安装在腔室的内侧底部,复位弹簧上还固定安装有一压力传感器,与现有技术相比,该装置通过于复位弹簧上设置的压力传感器检测弹簧的压力值以判断柔性板的运动位置,解决了密封腔体久而变形在相同的空气压力下,无法推动柔性板至预期位置的技术问题。
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