[发明专利]高生产量加热的离子注入系统和方法

摘要

本发明公开了一种离子注入系统，所述离子注入系统具有连接到第一和第二双负载锁定组件(136)的离子注入设备，第一和第二双负载锁定组件每一个都具有被共用壁(146)分离的各自的第一室(138)和第二室(140)。每一个第一室都具有构造成将工件加热至第一温度的预热设备。每一个第二室都具有构造成将工件冷却至第二温度的后冷却设备。热卡盘将工件保留在处理室中以用于离子注入，并且热卡盘被构造为将工件加热到第三温度。泵和通风口与第一室和第二室选择性地流体连通。控制器被构造为在大气环境中通过预热设备将工件加热到第一温度，通过热卡盘将工件加热到第二温度，通过离子注入设备将离子注入工件中，并通过预热设备、后冷却设备、泵、通风口和热卡盘的控制在大气环境与真空环境之间传输工件。

主权项

一种离子注入系统，包括：离子注入设备，所述离子注入设备被构造成朝向处理室引导离子束，其中所述处理室在真空压力下具有与其相关联的真空环境；用于将工件从大气环境转移到真空环境的第一负载锁定室以及用于将所述工件从真空环境转移到大气环境的第二负载锁定室；布置于所述第一负载锁定室中的预热设备；布置于所述第二负载锁定室中的后冷却设备；以及控制器，所述控制器被构造为启动所述预热设备以在完全或部分大气压力下将热能传送到相应工件，从而将所述工件的温度升高到第一预定温度，并且所述控制器被进一步构造为启动所述后冷却设备以将所述工件冷却到第二预定温度。