[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201680065839.0 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN108292914B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 关家大辅;平野康彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 弹性波装置(1)具备：压电基板(10)；IDT电极(11)以及电极焊盘(13)，形成在压电基板(10)的表面(10a)上；支承层(15)，在表面(10a)上形成为包围IDT电极(11)；第一覆盖层(16)以及第二覆盖层(17)，形成在支承层(15)上，与支承层(15)以及压电基板(10)一起通过中空空间(14)对IDT电极(11)进行了密封；UBM(21)，与电极焊盘(13)接合；以及凸块(20)，接合在UBM(21)上，UBM(21)的与凸块(20)的接合面形状为向凸块(20)侧凸的球面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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