[发明专利]力学量传感器在审
| 申请号： | 201680062736.9 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108450011A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 竹谷英一 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08;G01P15/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种力学量传感器，具有：形成有固定电极(437、613)的支承部(4)；固定于支承部的板状的固定部(21)；支承于固定部并在固定部的平面上的一个方向上延伸设置的梁部(22)；第一锤部(23)，在固定部的平面上的与一个方向垂直的另一方向上配置在固定部的一侧，连结于所述梁部，并且该第一锤部与梁部的连接部(231)和该第一锤部的与梁部相反一侧的前端部(232)利用在另一方向上延伸设置的连结部(233)连结，从而在连接部和前端部之间形成空间；第二锤部(24)，在另一方向上在与第一锤部相反的一侧配置于固定部，连结于梁部；第一锤部在另一方向上的长度大于第二锤部在另一方向上的长度，利用第一锤部及第二锤部位移时固定电极与第一锤部及第二锤部之间的静电电容的变化来检测力学量。 | ||
| 搜索关键词： | 锤部 固定部 梁部 连结 力学量传感器 固定电极 前端部 支承部 方向垂直 静电电容 向上延伸 延伸设置 力学量 板状 配置 支承 检测 | ||
【主权项】：
1.一种力学量传感器，其中，具有：形成有固定电极(437、613)的支承部(4)；固定于所述支承部的板状的固定部(21)；梁部(22)，支承于所述固定部，在所述固定部的平面上的一个方向上延伸设置；第一锤部(23)，在所述固定部的平面上的与所述一个方向垂直的另一方向上配置在所述固定部的一侧，连结于所述梁部，并且该第一锤部与所述梁部的连接部(231)和该第一锤部的与所述梁部相反一侧的前端部(232)利用在所述另一方向上延伸设置的连结部(233)连结，从而在所述连接部和所述前端部之间形成了空间；第二锤部(24)，在所述另一方向上在与所述第一锤部相反的一侧配置于所述固定部，并连结于所述梁部；所述第一锤部在所述另一方向上的长度大于所述第二锤部在所述另一方向上的长度，利用所述第一锤部及所述第二锤部位移时所述固定电极与所述第一锤部及所述第二锤部之间的静电电容的变化来检测力学量。
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- A·托齐奥;F·里奇尼;C·瓦尔扎希纳;G·兰格弗尔德;C·R·马拉 - 意法半导体股份有限公司
- 2018-08-29 - 2019-06-28 - G01P15/125
- 本申请涉及惯性传感器和MEMS器件。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，并偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是第一时间间隔期间的振荡频率的值与第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。由此提供性能改善的惯性传感器和MEMS器件。
- 一种密封性高的石英挠性加速度传感器-201821593788.1
- 杜诗雨;郎俊改 - 天津北空晶科自控技术有限公司
- 2018-09-28 - 2019-06-28 - G01P15/125
- 本实用新型提供了一种密封性高的石英挠性加速度传感器，包括：一种密封性高的石英挠性加速度传感器，其特征在于，包括：下壳体、表头及与下壳体相配合的电路盖，所述电路盖的内侧面上设有与电路盖共为一体结构的电路板，所述电路板上设有贯穿电路盖的接线端子，所述电路板上连接有电路板，所述表头连接在电路板上，所述电路板上连接有接线柱，所述电路板上设有调节板。本实用新型提供的一种密封性高的石英挠性加速度传感器，结构简单，密封性好，稳定性高。
- 一种含有过载限位装置的电容式加速度传感器及其制造方法-201610589605.8
- 朱二辉;周志健;陈磊;杨力建;邝国华 - 广东合微集成电路技术有限公司
- 2016-07-26 - 2019-06-21 - G01P15/125
- 本发明提供了一种含有过载限位装置的电容式加速度传感器，包括晶圆硅衬底，质量块，以及至少一个过载限位装置，过载限位装置由限位挡板和第二连接件组成，限位挡板一端与晶圆硅衬底相连，一端自由；第二连接件一端与晶圆硅衬底相连，一端与质量块相连。本发明还提供一种含有过载限位装置的电容式加速度传感器的制造方法。限位挡板的厚度及限位距离由刻蚀工艺的刻蚀深度决定，整个晶圆的加工一致性好，采用机械限位结构，省去电学限位结构的复杂控制IC，从而保证限位过载保护的精确性，利于成品小型化。
- 一种提高电容式硅微加速度传感器输出稳定性的闭环电路-201611099858.3
- 曲昊;彭倍;于慧君;周吴;彭鹏 - 电子科技大学
- 2016-12-02 - 2019-06-14 - G01P15/125
- 本发明属于传感器技术领域，提供了一种提高电容式硅微加速度传感器输出稳定性的闭环电路，包括加速度计，所述加速度计包括由上极板、下极板和中间质量块构成的差分电容；还包括检测电路，所述检测电路包括电荷放大电路、差分放大电路、PI控制电路、第一方波生成电路、第二方波生成电路和开关信号生成电路；所述第一方波生成电路和第二方波生成电路分别生成频率相同的反馈电压±VF和偏置电压VR，反馈电压±VF、偏置电压VR和差分电容两端的激励电压±V共同作用于差分电容产生静电力。本发明将直流形式的偏置电压和反馈电压改为交流方波形式，从而减少电荷在介质层中的积累，达到提升输出电压的稳定性的目的。
- 一种电容式微加速度计敏感结构-201510979830.8
- 郭中洋;杨军;刘飞;孙刚;盛洁;胡兴雷;窦茂莲;林梦娜;夏春晓 - 北京自动化控制设备研究所
- 2015-12-23 - 2019-06-11 - G01P15/125
- 本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。
- 一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法-201710293169.4
- 蔡春华;李予宸;谈俊燕;齐本胜;华迪 - 河海大学常州校区
- 2017-04-28 - 2019-06-04 - G01P15/125
- 本发明公开了一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法，具体是一种基于MEMS微加工技术的变间距的电容式加速度传感器，利用惯性质量块在外加加速度的作用下与检测电极间的间隙发生改变从而引起等效电容的变化来测定加速度。该发明与集成电路工艺兼容，可以集成信号处理电路，有较高的灵敏度，受环境影响小。通过在硅衬底不同部位进行离子注入形成PN结，利用PN结的单向导电性，实现加速度传感器敏感电容结构动齿与定齿之间的衬底电隔离，防止双向导电，制作工艺简单，可以降低成本，稳定性能好。
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