[发明专利]惯性力传感器在审

专利信息
申请号: 201680057926.1 申请日: 2016-08-03
公开(公告)号: CN108450008A 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 出川宗里;菊地广 申请(专利权)人: 日立汽车系统株式会社
主分类号: G01P15/08 分类号: G01P15/08;B81B3/00;G01C19/5747;G01C19/5783;G01D21/02;G01L9/00;G01P15/125;G01P15/18;H01L29/84
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 肖华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种能够小型化的惯性力传感器。本发明的惯性力传感器具有形成有检测部(20、30)的层(1a、2a),所述层是2个以上层叠在一起的层叠结构体。
搜索关键词: 惯性力传感器 层叠结构体 检测
【主权项】:
1.一种惯性力传感器,其特征在于,具有形成有检测部的层,所述层是2个以上层叠在一起的层叠结构体。
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