[发明专利]用于制造信息记录介质的方法

摘要

将相同的数字数据以高度集成的方式记录在能够长期持久地保持信息的多个介质上。通过光束曝光在石英玻璃衬底顶部上的抗蚀剂层上绘制指示数据位信息的微小图形图案并进行显影，并通过蚀刻形成包括具有凹陷和凸起结构的石英玻璃衬底的原版介质(M1)，在蚀刻中将抗蚀剂层的剩余部分用作掩模(图(a))。使记录在原版介质(M1)上的凹陷和凸起结构成形并转印到形成有UV可固化树脂层(61)的柔性记录介质(G2)上，由此制造中间介质(M2)(图(b)‑(d))。使转印到中间介质(M2)上的翻转凹陷和凸起结构成形并转印到包括石英玻璃衬底(70)且该石英玻璃衬底上形成有UV固化树脂层(80)的记录介质(G3)上，由此制造具有与原版介质(M1)相同的凹陷和凸起结构的复制介质(M3)(图(e)‑(h))。在成形和转印过程中，利用中间介质(M2)的柔性来分离介质。

主权项

1.一种用于制造信息记录介质的方法，该方法制备记录有相同数字数据的多个信息记录介质，所述方法包括:原版介质制备步骤，其中执行用于在第一记录介质(G1)的记录表面上将待存储的数字数据记录为凹陷和凸起结构图案的过程，以制备原版介质(M1)；中间介质制备步骤，其中执行用于将记录在所述原版介质(M1)处的凹陷和凸起结构图案转印到第二记录介质(G2)的记录表面上的过程，以制备中间介质(M2)；和复制介质制备步骤，其中执行用于将记录在所述中间介质(M2)处的凹陷和凸起结构图案转印到第三记录介质(G3)的记录表面上的过程，以制备复制介质(M3)；其中，在所述原版介质制备步骤中，使用包括石英玻璃衬底(10)的介质作为所述第一记录介质(G1)，以在所述第一记录介质(G1)的表面上形成抗蚀剂层(20)，在所述抗蚀剂层的表面上进行光束曝光以绘制示出待存储的数字数据的位信息的图形图案，对所述抗蚀剂层进行显影以除去该抗蚀剂层的一部分，并且将所述抗蚀剂层的剩余部分(23)作为掩模而进行蚀刻处理，从而制备所述原版介质(M1)，该原版介质包括表面上具有第一凹陷和凸起结构图案的石英玻璃衬底(11)，在所述中间介质制备步骤中，利用在所述原版介质(M1)的表面上形成的所述第一凹陷和凸起结构图案执行一形状形成过程，以在所述第二记录介质(G2)的记录表面上形成与所述第一凹陷和凸起结构图案的凹陷和凸起成相反关系的第二凹陷和凸起结构图案，在所述复制介质制备步骤中，使用包括石英玻璃衬底(70)的介质作为所述第三记录介质(G3)，通过利用在所述中间介质(M2)的表面上形成的所述第二凹陷和凸起结构图案的形状形成过程，在所述第三记录介质(G3)的记录表面上形成与所述第二凹陷和凸起结构图案的凹陷和凸起成相反关系的第三凹陷和凸起结构图案，并且当所述第一记录介质(G1)和所述第三记录介质(G3)被称为第一属性介质并且所述第二记录介质(G2)被称为第二属性介质时，所述第一属性介质和所述第二属性介质中的至少一个具有柔性，并且在所述中间介质制备步骤的形状形成过程和所述复制介质制备步骤的形状形成过程中，具有柔性的介质弯曲并从另一介质剥离。