[发明专利]用于晶片边缘检验及复检的方法及系统有效
| 申请号： | 201680045818.2 | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN108419448B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 姜辛容;C·西尔斯;H·辛哈;D·特雷斯;叶伟;D·卡兹 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶片 边缘 检验 复检 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种电子光学系统，其包括：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件；样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场，其中所述保护环装置的一或多个特性是可调整的；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
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- 一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
- 具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜-201610705341.8
- B.塞达;L.图马;A.亨斯特拉 - FEI公司
- 2016-08-23 - 2020-03-03 - H01J37/153
- 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：提供带电粒子的非单能输入射束；将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。
- 用于自动校正像散的方法-201580006977.7
- I-M·斯滔恩;R·诺德斯特龙;G·卡尔伯格 - 智能病毒成像公司
- 2015-06-17 - 2018-11-27 - H01J37/153
- 该方法用于透镜系统的自动像散校正。在透镜组的第一消像散器设置下，提供未被聚焦的第一图像(96)。计算装置计算相应的第一傅立叶光谱图像(312)。通过计算第一矢量(132)和第二矢量(134)，确定傅立叶光谱图像(128，130，312)的像素的分布和方向。将第一矢量(132)与第二矢量(134)相比较。将透镜系统从第一消像散器设置改变为第二消像散器设置以提供第二图像(98)。计算相应的傅立叶光谱图像(314)。通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像(314)的像素的分布和方向。将第三矢量与第四矢量相比较。选择具有最低的矢量比率的图像。
- 带电粒子束装置及球面像差校正方法-201480077095.5
- 平山阳一;玉置央和 - 株式会社日立高新技术
- 2014-04-04 - 2017-12-05 - H01J37/153
- 构成带电粒子束装置的像差校正器的多极子透镜，通常只能设定一个满足球面像差校正条件和磁饱和这两方面的条件，因此无法对应于多个加速电压。为此，本发明提供一种球面像差校正器，其根据物镜的励磁电流的变更，对构成多极子透镜的多组极子群选择性地进行励磁，从而针对多个像差校正条件满足磁饱和状态。
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