[发明专利]通用对准适配器在审
申请号: | 201680001950.3 | 申请日: | 2016-10-26 |
公开(公告)号: | CN108243624A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 戴维·N·蒙托;布莱恩·阿瑟·布奇;童圣智;田村信彦;惠滕·E·小利特尔 | 申请(专利权)人: | 阿德文泰克全球有限公司 |
主分类号: | H01J29/07 | 分类号: | H01J29/07 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾红霞;顾欣 |
地址: | 英属维尔京*** | 国省代码: | 维尔京群岛;VG |
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摘要: | 在阴影掩模张紧方法和设备中,由支撑框架支撑的阴影掩模定位在阴影掩模框架与一组致动器之间,阴影掩模的一部分延伸跨过支撑框架与阴影掩模框架之间的间隙。在编程控制器的控制下,使一组致动器同时地将阴影掩模的一部分的多个间隔开的部位偏移到间隙中,以使阴影掩模的对准孔与定位成观察对准孔的相机的视场中的预定位置对准。然后,将阴影掩模固接到阴影掩模框架。 | ||
搜索关键词: | 阴影掩模 支撑框架 对准孔 致动器 方法和设备 程控制器 通用对准 预定位置 适配器 偏移 视场 张紧 对准 跨过 相机 观察 延伸 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种阴影掩模张紧方法,包括:(a)提供由支撑框架支撑的阴影掩模;(b)接在步骤(a)之后,将由支撑框架支撑的所述阴影掩模定位在阴影掩模框架与一组致动器之间,所述阴影掩模的一部分延伸跨过所述支撑框架与所述阴影掩模框架之间的间隙;(c)接在步骤(b)之后,使所述一组致动器同时地将所述阴影掩模的所述一部分的多个间隔开的部位偏移到所述间隙中;以及(d)接在步骤(c)之后,将所述阴影掩模固接到所述阴影掩模框架。
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