[发明专利]一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统

摘要

本发明公开了一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统，该系统将激光束通过空间光路耦合进导电探针的锥形孔内，照射到样品上，利用导电探针、与样品连接的外电极形成的导电通路，以接触模式进行扫描成像，获得样品的形貌和超局域化光电流分布等信息。在导电探针的锥形孔尖端利用具有表面等离激元效应的金属通孔结构提高光透光率并增强光场强度、利用金属突起结构提高成像的空间分辨率。本方案利用孔径型导电探针得到超小的入射光光斑，能够进行超局域化、高精细的光电流分布特性检测。该系统克服了普通导电探针测试时光斑尺寸大、均一性低，以及衬底要求透明的缺陷，也克服了鼻型导电探针测试时定位困难的缺点。

主权项

一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统，其特征在于，该扫描成像系统包括：光源单元，用于提供符合样品扫描光功率要求的激发光源；扫描单元，基于原子力原理和光杠杆原理，利用孔径型导电探针对样品进行接触模式扫描，并获得样品表面的电数据信号和孔径型导电探针的位置偏移量数据信号；成像单元，用于对样品表面的数据进行处理，获得样品的图像和光学特性。