[发明专利]适合于批量化生产的多层微流体芯片制作方法有效

专利信息
申请号: 201610796048.7 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106391151B 公开(公告)日: 2018-11-09
发明(设计)人: 尤政;赵精晶 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张大威
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种适合于批量化生产的多层微流体芯片制作方法,包括:提供内部结构层,其中,内部结构层包括多层金属板,多层金属板上通过刻蚀处理形成微流道结构,多层金属板通过热压键合或超声键合组装为一个整体;提供上部透明盖板和下部透明盖板,其中,上部透明盖板上设置有流入口和流出口;将上部透明盖板、内部结构层和下部透明盖板胶合封合。本发明具有如下优点:适合批量生产且成本低。
搜索关键词: 透明盖板 多层金属板 微流体芯片 批量化 多层 胶合 超声键合 热压键合 流出口 流入口 微流道 封合 刻蚀 生产 制作 组装
【主权项】:
1.一种适合于批量化生产的多层微流体芯片制作方法,其特征在于,包括以下步骤:提供内部结构层,其中,所述内部结构层包括多层金属板,所述多层金属板上通过刻蚀处理形成微流道结构,所述多层金属板通过热压键合或超声键合组装为一个整体,所述提供内部结构层的步骤中还包括:在所述多层金属层中的预设金属层的上下两侧的金属层的指定位置分别形成上开口和下开口;提供与所述上开口和所述下开口形状相匹配的第一透明材料层和第二透明材料层;将所述第一透明材料层和所述第二透明材料层分别嵌入所述上开口和所述下开口中;提供上部透明盖板和下部透明盖板,其中,所述上部透明盖板上设置有流入口和流出口;将所述上部透明盖板、所述内部结构层和所述下部透明盖板胶合封合。
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  • 2018-04-19 - 2019-10-29 - B01L3/00
  • 一种介电微粒操控芯片,包含芯片本体、间隔设置在所述芯片本体顶面的第一电极层与第二电极层,及一覆盖遮蔽所述电极层的介电层。所述第一电极层具有多个第一指叉电极部,所述第二电极层具有多个第二指叉电极部,所述第一指叉电极部与所述第二指叉电极部彼此间隔地交错排列分布。所述介电层是由高介电系数半导体无机材料构成,其介电系数介于3.7~80F/m。通过以高介电系数半导体无机材料作为所述介电层的设计,可大幅缩减所述介电层的厚度,而能以更低电位与频率的驱动电压大幅提高介电微粒被操控移动速度,是一种高效能的创新介电微粒操控芯片设计。
  • 微通道及其制作方法-201710796751.2
  • 陈皓生;冯玉振;李疆;朱迪 - 清华大学;北京科技大学
  • 2017-09-06 - 2019-10-29 - B01L3/00
  • 本发明提出了微流道及其制作方法,该制作微通道的方法包括:将平面展开结构进行折叠而获得微通道;其中,微通道的截面是边数为N的正多边形,平面展开结构包括N个截面为等腰梯形的亚结构。本发明所提出的制作微通道的方法,获得的微通道的截面形状可以是三角形、四边形、五边形、六边形等多边形,几何形状更丰富;并且该方法还可在微通道的内壁,即平面展开结构的上表面,进行多次或多种的局部表面修饰或局部表面加工,从而可对微通道内壁的每一个表面进行不同表面图案的设计,然后再将平面展开结构折叠闭合即可形成内壁三维图案化修饰的多边形微通道,进而可实现三维复杂内壁形貌的微通道设计。
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