[发明专利]微细机械装置有效
| 申请号： | 201610707781.7 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106477508B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 石原卓也;添田将;关根正志;栃木伟伸 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千代田*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明做到可更容易地防止在各种环境下使用的、使用高绝缘性基材的微细机械装置中的粘连。本发明的微细机械装置包括电极未形成部(107a)及电极未形成部(107b)，所述电极未形成部(107a)及电极未形成部(107b)设置于在形成有凸部(104)的区域内相对的基板(101)及可动部(103)两方的表面，未形成有电极，并且，本发明的微细机械装置在电极未形成部(107a)上配备有防静电层(108)。防静电层(108)与形成有防静电层(108)那一侧的电极(105)连接。此外，防静电层(108)由表面电阻为防静电级的材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 机械 装置 | ||
【主权项】：
一种微细机械装置，其特征在于，包括：基板，其由绝缘体构成；可动部，其通过支承部支承在所述基板上，在可动区域内与所述基板隔开配置，且能够在所述可动区域内朝所述基板方向位移，所述可动部由绝缘体构成；凸部，其形成于在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部中的其中一方的表面；电极，其形成于在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部各自的表面；电极未形成部，其设置于在形成有所述凸部的区域内相对的所述基板及所述可动部中的至少一方的表面，未形成有所述电极；以及防静电层，其形成于设置于所述基板及所述可动部中的至少一方的表面上的所述电极未形成部中的至少一方，与形成有防静电层那一侧的所述电极连接，所述防静电层由表面电阻为防静电级的材料构成。
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- 周书瑶;吴丽琼;刘湘祁;张楠;刘兆平 - 宁波石墨烯创新中心有限公司
- 2019-04-29 - 2019-07-09 - B81B3/00
- 本申请实施例提供了一种传感器阵列系统及制造方法，包括：传感器、集成电路以及基底；所述基底设置于所述传感器与所述集成电路之间，用于隔开所述传感器与所述集成电路，所述传感器的通电端通过连接部件与所述集成电路电连接。通过将传感器和集成电路分别设置在基底的两侧，从而实现了传感器和集成电路不位于同一平面，不位于同一平面的传感器和集成电路可通过连接部件来实现电连接，不影响传感器的功能实现。可拆分制作和封装使传感器和集成电路可以独立制作而不会相互干扰，这样可以提高传感器阵列系统制作的时效和性能。
- 电子装置、电子装置的制造方法-201511019808.5
- 田中悟 - 精工爱普生株式会社
- 2015-12-29 - 2019-07-09 - B81B3/00
- 一种电子装置、电子装置的制造方法。物理量传感器为，抑制了由于使用的环境的温度变化而引起的检测特性的变动的、检测特性更为稳定的物理量传感器。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)与配置于第一传感器元件(99)的外周的至少一部分的外缘部(90)，当俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽部(92)。
- 一种柔性温度传感器及制备方法-201910159031.4
- 康玲;张健;石雅琳;朱旦荣 - 华东师范大学
- 2019-03-04 - 2019-06-28 - B81B3/00
- 本发明公开了一种柔性温度传感器及制备方法，其中，柔性温度传感器包括柔性衬底、柔性封装膜及温敏金属银电极；制备方法包括制备柔性衬底、制备温敏金属银电极及制备柔性温度传感器；本发明采用将柔性温敏金属银电极制备于柔性衬底上，柔性封装膜制备于柔性衬底层上且覆盖柔性温敏金属银电极制备出柔性温度传感器。本发明具有结构简单，制备工艺简单，制作成本低廉，易于工业化批量生产及易于满足快速发展的柔性可穿戴材料市场的需求。
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