[发明专利]一种电感耦合等离子处理器有效
| 申请号： | 201511012711.1 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106937473B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 龚岳俊;吴狄;黄允文 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感耦合等离子处理器，包括：一反应腔体围绕构成气密空间，反应腔体包括：反应腔体侧壁以及反应腔侧壁顶部依次叠放的一气体聚焦环、一上盖环，上盖环上方的绝缘材料窗。所述气体聚焦环包括中心的开口部和外侧的环形部，外侧环形部的上下表面通过环形密封圈与反应腔侧壁顶部以及上盖环实现密封。其特征在于所述上盖环下表面包括多个凹进的空腔，空腔内包括：弹性部件提供向下压力，一顶推部件包括上端连接到弹性部件，所述顶推部件可在弹性部件的驱动下进行上下移动，一限位部件固定到空腔内壁，所述限位部件包括横向延展的阻挡部以限制顶推部件的移动范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 等离子 处理器 | ||
【主权项】：
1.一种电感耦合等离子处理器，包括：一反应腔体围绕构成气密空间，反应腔体包括：反应腔体侧壁以及反应腔侧壁顶部依次叠放的一气体聚焦环、一上盖环，上盖环上方的绝缘材料窗；所述气体聚焦环包括中心的开口部和外侧的环形部，外侧环形部的上下表面通过环形密封圈与上盖环以及反应腔侧壁顶部实现密封；所述反应腔体内包括一基座，待处理基片固定到基座上方，绝缘材料窗上方包括电感线圈装置；所述电感线圈装置通过一个第一匹配器联通到第一射频电源；所述基座通过一个第二匹配器联通到第二射频电源；其特征在于所述上盖环下表面包括多个凹进的空腔，空腔内包括：一弹性部件提供向下压力，一顶推部件包括上端连接到弹性部件，所述顶推部件在所述弹性部件驱动下上下移动，一限位部件固定到空腔内壁，所述限位部件包括横向延展的阻挡部以限制顶推部件的移动范围。
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- 一种具有微孔/微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置，包括外腔体和设置在所述外腔体内的多个微孔/微纳结构双耦合谐振腔，其中所述谐振腔包括一圆柱形腔体，所述圆柱形腔体的周壁上均匀分布由多个微孔形成的微孔阵列，所述微孔的直径是波长的奇数倍，所述腔体的内壁上具有金属微纳结构，所述金属微纳结构的周期尺寸为λ/n，λ为入射波长，n为谐振腔材料的折射率。本发明通过优化设计双耦合谐振方式，来减少引导模和泄漏模的损耗，达到在固定区域谐振最大程度增强的目的，并能提高等离子体的均匀性，保证光耦合和场空间局域增强特性的前提下，可改善吸收损耗问题，另外多个谐振腔独立控制，可以有效控制等离子体的温度。
- 用于微波等离子体发生装置的微孔微纳结构双耦合谐振腔-201810521241.9
- 刘新宇;汤益丹;王盛凯;白云;杨成樾 - 中国科学院微电子研究所
- 2018-05-25 - 2019-07-16 - H05H1/46
- 一种用于微波等离子体发生装置的微孔/微纳结构双耦合谐振腔，包括一圆柱形腔体，所述圆柱形腔体的周壁上均匀分布由多个微孔形成的微孔阵列，所述微孔的直径是波长的奇数倍，所述腔体的内壁上具有金属微纳结构，所述微孔阵列与金属微纳结构形成双耦合结构从而实现谐振增强和可调，所述金属微纳结构的周期尺寸为λ/n，λ为入射波长，n为谐振腔材料的折射率。本发明通过优化设计双耦合谐振方式，来减少引导模和泄漏模的损耗，达到在固定区域谐振最大程度增强的目的，并能提高等离子体的均匀性，保证光耦合和场空间局域增强特性的前提下，可改善吸收损耗问题，另外多个谐振腔独立控制，可以有效控制等离子体的温度。
- 碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置-201820692415.3
- 刘铁林;刘南林 - 刘铁林;刘南林
- 2018-05-02 - 2019-07-02 - H05H1/46
- 碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置，是由ELF极低频电源柜(1)、场效应装置(2)、长方体形水箱(3)构成，属于地球物理技术领域。碳同素异形体复合物场效应装置(2)是由若干沉积碳同素异形体复合物的泡沫镍制成的平面电极板(4)和若干由绝缘材料制成的平面隔板(5)，以并联电容形式交替平行叠加而成。利用碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置激发的非地球磁极区域产生的极光现象，有助于研究探索地球大气磁层中非偶极空间磁极形成与分布特性，以及地球磁场的起源，宇宙能量对地球气候环境的各种影响。此外，该装置还可以作为气象手段，用于治理气候变化与环境污染，预测自然灾害。
- 一种电感耦合等离子体处理器-201821494654.4
- 赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 - 中微半导体设备（上海）股份有限公司
- 2018-09-13 - 2019-07-02 - H05H1/46
- 本实用新型公开了一种电感耦合等离子体处理器，所述处理器包括：真空室，所述真空室上方设置一个感应天线，所述感应天线连接到一个源射频电源；所述真空室内设置一基座，所述基座上方用于支撑待处理晶圆；第一射频偏压电源和第二射频偏压电源通过一可切换匹配网络，选择性地将第一、第二射频偏压电源中的其中之一连通到所述基座中；其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于第二射频偏压电源的输出信号频率。本实用新型专门针对工作频率设计了一种射频匹配网络，提供两种不同频率操作的、可有效切换的射频匹配网络，可有效地施加偏压功率，能够切换偏压频率并提供能够将任一偏压频率有效地耦合至等离子体的射频匹配网络。
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