[发明专利]一种柔性温度压力传感器有效
| 申请号： | 201510969718.6 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106895924B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 官亦标;刘璟;魏斌;范茂松;王绥军 | 申请（专利权）人： | 中国电力科学研究院;国家电网公司;国网北京市电力公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 11271 北京安博达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性温度压力传感器，包括上下对称布置的第一衬底和第二衬底，以及依次布置在第一衬底与第二衬底之间的第一电极、温敏层、中间电极、压敏层和第二电极；第一电极和第二电极均为叉指形状，中间电极为平面形状。与现有技术相比，本发明提供的一种柔性温度压力传感器，采用丝网印刷或者纳米压印可以实现大规模生产的目的，同时采用纳米导电银浆材料作为电极材料实现了与丝网印刷技术的兼容，以及采用温敏层与压敏层的层叠堆积方式，可以有效提高传感器的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 温度 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种柔性温度压力传感器，其特征在于，所述传感器包括上下对称布置的第一衬底和第二衬底，以及依次布置在所述第一衬底与第二衬底之间的第一电极、温敏层、中间电极、压敏层和第二电极；/n所述第一电极和第二电极均为叉指形状，所述中间电极为平面形状；/n所述第一电极采用纳米压印或者丝网印刷的方式制备于第一衬底上；/n所述第二电极采用纳米压印或者丝网印刷的方式制备于第二衬底上；/n采用纳米压印或丝网印刷的方式将第一电极制备于第一衬底，以及将第二电极制备于第二衬底时：/n在印刷的过程中第一衬底和第二衬底保持均匀受力；/n在印刷成型后将第一衬底和第二衬底置于60～120℃的真空干燥箱中加热10～60分钟；/n所述第一电极、第二电极和中间电极均采用纳米导电银浆，所述纳米导电银浆的颗粒直径小于10微米；/n所述第一电极、第二电极和中间电极制备完成后，对所述传感器进行封装测试，以满足不规则表面温度压力的检测工况要求；/n所述第一衬底和第二衬底均采用聚对笨二甲酸乙二醇或者聚酰亚胺；/n所述温敏层采用MnCoNi半导体陶瓷浆料；/n所述压敏层采用氧化锌压电材料。/n
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