[发明专利]一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201510962259.9 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105571499A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘钰;苗亮;张文龙;马冬梅;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 于晓庆 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法，涉及光学测量领域，解决了现有测量方法存在的误差大、测量过程复杂的问题。该方法为：在被测光学元件上面及下面均放置一块光学平板，将两块光学平板与被测光学元件调平行，利用镜面定位仪测量上光学平板下表面与下光学平板上表面之间的距离d1，然后将需要测量的光学元件放置在上光学平板与下光学平板之间，测量上光学平板下表面与被测光学元件上表面中心的距离d2以及下光学平板上表面与被测光学元件下表面中心的距离d3，被测光学元件的中心厚度d即为d＝d1-d2-d3。本发明可在无需知道被测光学元件材料折射率情况下就能对被测光学元件中心厚度进行非接触测量，具有快速、简单、精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 光学 元件 中心 厚度 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种非接触光学元件中心厚度测量装置，其特征在于，包括：平面镜调整台(2)、安装在平面镜调整台(2)上的上光学平板(1)、光学元件调整台(4)、安装在光学元件调整台(4)上的被测光学元件(3)、下光学平板(5)、镜面定位仪(6)；通过调整平面镜调整台(2)和光学元件调整台(4)使上光学平板(1)、被测光学元件(3)和下光学平板(5)相互平行；通过镜面定位仪(6)测量上光学平板(1)下表面与下光学平板(5)上表面之间的距离d1、上光学平板(1)下表面与被测光学元件(3)上表面中心的距离d2以及下光学平板(5)上表面与被测光学元件(3)下表面中心的距离d3。
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