[发明专利]动态随机存取存储器

摘要

本发明提供一种动态随机存取存储器，包括基底、多个隔离结构、多条埋入式字元线、多条位元线及多个电容器。基底包括多个主动区，主动区被配置成带状且排列成阵列。多个隔离结构设置于基底的沟渠中，各隔离结构设置于两个相邻主动区之间。埋入式字元线沿第一方向平行设置于基底的沟渠中，每一埋入式字元线将排列成同一列的主动区分为第一接触区与第二接触区。位元线沿第二方向平行设置于基底上，且横跨埋入式字元线。主动区的长边方向与第二方向呈现非正交，每一位元线连接排列成同一行的主动区的第一接触区。电容器分别电性连接主动区的第二接触区。因此可有效减少记忆单元间的干扰问题，并增加制程裕度。

主权项

1.一种动态随机存取存储器，其特征在于，包括：一基底，包括多个主动区，所述主动区被配置成带状且排列成一阵列；多个隔离结构，设置于所述基底的沟渠中，每一所述隔离结构设置于两个相邻的所述主动区之间；多条埋入式字元线，沿一第一方向平行设置于所述基底的沟渠中，每一所述埋入式字元线将排列成同一列的所述主动区分为一第一接触区与一第二接触区；多条位元线，沿一第二方向平行设置于所述基底上，且横跨所述埋入式字元线，所述主动区的长边方向与所述第二方向呈现非正交，且每一所述位元线连接排列成同一行的所述主动区的所述第一接触区；多个电容器，分别电性连接所述主动区的所述第二接触区；以及多个位元线接触窗，位于所述位元线与所述第一接触区之间，以电性连接所述位元线与所述第一接触区，其中每一所述主动区仅与一条所述埋入式字元线相交。