[发明专利]执行EDS分析的方法和系统有效
| 申请号： | 201510542371.7 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105388177B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | E.希尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种EDS分析的方法，包括：提供第一材料集合和相关材料数据，每种材料数据表示相关材料的特性；将电子束引导至样品上多个位置，并记录与多个位置中每一个相关的能量色散x射线光谱；通过下列方式处理多个位置中的每个位置：如满足基于与处理的位置相关的能量色散x射线光谱和第一材料集合的数据确定的第一相似性准则，则将第一材料集合中的材料分配给处理的位置；以及然后确定未分配有第一材料集合中的材料的第一位置组；以及通过如下方式处理第一位置组中的位置：确定分配有第一材料集合中的材料并满足相对于处理的位置的第一接近度准则的第二位置组；以及基于分配给第二位置组中的位置的材料将第一材料集合中的至少一种材料分配给处理的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 执行 eds 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种EDS分析的方法，所述方法包括：/n-提供第一材料集合和相关材料数据(101)，其中，每种材料数据表示相关材料的特性；/n-将电子束引导至样品上的多个位置，并记录与所述多个位置中的每个位置相关的能量色散x射线光谱(103)；/n通过下列方式处理所述多个位置中的每个位置(105)：/n-如果满足第一相似性准则(133)，则将所述第一材料集合中的材料分配给处理的位置(105)，所述第一相似性准则(133)基于与所述处理的位置相关的能量色散x射线光谱和第一材料集合的数据来确定；以及然后/n-确定未分配有所述第一材料集合中的材料的第一位置组(137)；以及/n-通过如下方式处理所述第一位置组中的位置(113)：/n-确定第二位置组(152)，所述第二位置组(152)分配有所述第一材料集合中的材料并满足相对于所述处理的位置的第一接近度准则；以及/n-基于分配给所述第二位置组中的位置的材料，将所述第一材料集合中的至少一种材料分配给所述处理的位置(159)。/n
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