[发明专利]一种可用于高真空超高温环境的多维可调谐承载装置

摘要

公开了一种可用于高真空超高温环境的多维可调谐承载装置。包括真空腔，所述真空腔位于操作平台上；耐高温托架，所述耐高温托架上端直接与试样接触，所述耐高温托架下端置于水冷台凹槽中；水冷台，所述水冷台置于XY向移动平台凹槽内，再整体固定于连接法兰上；移动控制系统，所述移动控制系统可用于控制试样的XY向和Z向移动。此装置可以用于温度1800℃以内的高真空环境，并具有适应多种加热方式、高隔热效率、化学性能稳定和多维可调谐等特点。

主权项

一种可用于高真空超高温环境的多维可调谐承载装置，其特征在于包括：真空腔，所述真空腔位于操作平台上；耐高温托架，所述耐高温托架上端直接与试样接触，所述耐高温托架下端置于水冷台凹槽中；所述耐高温托架由多个支撑脚和托架主体结构组成，所述支撑脚为变截面结构，上部截面小，下部截面大；所述耐高温托架的托架主体结构置于水冷台凹槽内后形成间隙；水冷台，所述水冷台置于XY向移动平台凹槽内，再整体固定于连接法兰上；所述水冷台采用中空水冷结构并通过冷却水管道与外部冷却循环水相连；移动控制系统，所述移动控制系统可用于控制试样的XY向和Z向移动；其中，所述移动控制系统包括支撑杆，所述支撑杆支撑连接法兰、XY向移动平台、水冷台和耐高温托架悬空于真空腔内；所述支撑杆为中空结构，x、y向移动平台控制电缆和冷却水管道穿过该中空结构；所述移动控制系统还包括波纹管和密封法兰，用于配合支撑杆完成密封；所述法兰密封通过Z轴丝杆与驱动电机连接，用于实现Z向调谐功能；所述x、y向移动平台控制电缆和z向移动平台控制电缆连接到集成控制器上，实现三维可调谐功能。