[发明专利]采用籽晶引导的硅片制作设备及其控制方法有效
| 申请号： | 201510165541.4 | 申请日： | 2015-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN104726932B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 高文秀;李帅;赵百通 | 申请（专利权）人： | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/04 | 分类号： | C30B28/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙)31290 | 代理人： | 金碎平,袁亚军 |
| 地址： | 214213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用籽晶引导的硅片制作设备及其控制方法，所述硅片制作设备包括炉体，所述炉体内设有用于盛放熔融硅液的石英坩埚，所述石英坩埚的外侧周围设有加热器，其中，所述石英坩埚的上方设有相变蓄热块，所述相变蓄热块的两侧对称设有片状矩形籽晶和籽晶夹板，所述片状矩形籽晶固定在与升降机构相连的籽晶夹持器上。本发明提供的采用籽晶引导的硅片制作设备及其控制方法，通过采用相变蓄热块吸收硅液面热量，硅片直接形成于硅液表面，由籽晶夹板挤压硅片脱离籽晶，安全可靠，温度恒定，生长硅片的晶向可控，位错少，籽晶引导生长速率块，能够极大的节省硅材料并降低单个硅片的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 籽晶 引导 硅片 制作 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种采用籽晶引导的硅片制作设备，包括炉体(9)，所述炉体(9)内设有用于盛放熔融硅液(8)的石英坩埚(13)，所述石英坩埚(13)的外侧周围设有加热器(5)，其特征在于，所述石英坩埚(13)的上方设有相变蓄热块(4)，所述相变蓄热块(4)的两侧对称设有片状矩形籽晶(1)和籽晶夹板(2)，所述片状矩形籽晶(1)固定在与升降机构相连的籽晶夹持器(10)上；所述升降机构为一对平行设置的动力丝杆(11)，所述动力丝杆(11)设于相变蓄热块(4)的顶部，所述籽晶夹板(2)通过夹板固定螺杆(3)固定在相变蓄热块(4)的两侧。
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