[发明专利]具有顺应性触件的微拾取阵列有效
申请号: | 201480031951.3 | 申请日: | 2014-05-23 |
公开(公告)号: | CN105263854B | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | A·比布尔;D·格尔达 | 申请(专利权)人: | 苹果公司 |
主分类号: | B81C99/00 | 分类号: | B81C99/00;H01L21/67;H01L23/00;H01L21/683;B25J15/00;H01L21/768 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 王茂华,张宁 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种用于从承载衬底转移微型器件的微拾取阵列。在一个实施例中,微拾取阵列(104)包括用于将操作电压从电源递送到静电转移头部阵列(114)的顺应性触件(108)。该顺应性触件可相对于所述微拾取阵列的底部衬底(214)移动。 | ||
搜索关键词: | 具有 顺应性 拾取 阵列 | ||
【主权项】:
一种微拾取阵列,包括:底部衬底,所述底部衬底具有通孔;膜,所述膜在所述通孔之上;插头,所述插头在所述通孔内并且由所述膜支撑,其中间隙使所述插头与所述底部衬底分开;和静电转移头部阵列,所述静电转移头部阵列与所述插头电耦接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苹果公司,未经苹果公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201480031951.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:风扇及其控制方法
- 下一篇:用于袜子设计的工程图表现方法
- 同类专利
- 用于控制可转移半导体结构的释放的结构及方法-201680056814.4
- 克里斯托弗·鲍尔;马修·迈托 - 艾克斯瑟乐普林特有限公司
- 2016-10-21 - 2019-07-23 - B81C99/00
- 所揭示技术大体来说涉及用于控制微型装置的释放的方法及系统。在将微型装置转移到目的地衬底之前,先形成上面具有微型装置的同质衬底。所述微型装置可分布于所述同质衬底上方且通过锚定件结构在空间上彼此分离。所述锚定件物理地连接/固定到所述同质衬底。系链将每一微型装置物理地固定到一或多个锚定件,借此将所述微型装置悬置于所述同质衬底上方。在特定实施例中,使用单系链设计来控制例如Si(1 0 0)等衬底上的可释放结构中的内应力的松弛。除其它益处以外,单系链设计还提供以下额外益处:在微组装过程中,在从同质衬底取回时较容易断开。在特定实施例中,狭窄系链设计用于避免对底切蚀刻前端的钉扎。
- 具有顺应性触件的微拾取阵列-201480031951.3
- A·比布尔;D·格尔达 - 苹果公司
- 2014-05-23 - 2016-12-07 - B81C99/00
- 本发明公开了一种用于从承载衬底转移微型器件的微拾取阵列。在一个实施例中,微拾取阵列(104)包括用于将操作电压从电源递送到静电转移头部阵列(114)的顺应性触件(108)。该顺应性触件可相对于所述微拾取阵列的底部衬底(214)移动。
- 三维微结构、具有至少两个三维微结构的装置、用于制造所述微结构的方法和所述微结构的应用-201080043476.3
- H.赫德勒;J.扎普夫 - 西门子公司
- 2010-09-20 - 2016-10-12 - B81C99/00
- 本发明涉及一种三维的微结构,其具有:大量的彼此邻近的、相对于其相应的微柱纵向伸展部基本彼此平行地且彼此间隔地被安置的微柱,所述微柱具有至少一种微柱材料,所述微柱各自具有一在20至1000范围内的纵横比,并各自具有一在0.1微米直至200微米范围内的微柱直径;以及在毗邻的微柱之间配设的微柱空隙,所述微柱空隙具有在所述毗邻的微柱之间从1微米至100微米范围中选出的微柱间距。本发明也提出一种用于建造所述的三维微结构的方法,其具有如下方法步骤:a)用模板材料制备一模板,其中,所述模板具有一基本与所述微结构相反的三维模板结构,所述三维模板结构具有柱状模板空腔,b)将所述微柱材料安置在所述柱状模板空腔中,从而形成所述微柱,和c)至少部分地移去所述模板材料。有利地,将硅晶片用作模板。为了制备所述模板,以PAECE(Photo Assisted Electro‑Chemical Etching光辅助电化学蚀刻)‑方法为基础。借助于本发明,具有极大表面的微结构得以实现。
- 由合成的碳同素异形体基材料制成并具有多个功能层级的单件式空心微机械部件-201480061374.2
- P·杜博瓦;S·梅尔扎格赫;C·沙邦 - 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
- 2014-10-06 - 2016-06-22 - B81C99/00
- 本发明涉及一种用于制造由合成的碳同素异形体基材料(215,315,415)制成的单件式微机械部件(221,321,421,523,525)的方法,其特征在于,包括下述步骤:(a)形成基底(201,301,401),该基底在至少三个层级(N1,N2,N3,NX)上包括待制造的所述微机械部件的凹腔(203,303,403);(b)用所述合成的碳同素异形体基材料层覆盖基底(201,301,401)的所述凹腔(203,303,403),该材料层的厚度(e1)小于所述腔的所述至少三个层级(N1,N2,N3,NX)中每一个的深度;和(c)移走所述基底(201,301,401),以释放在所述凹腔中形成的单件式微机械部件(221,321,421,523,525)。
- 用于在衬底上纳米滴落1D、2D或3D结构的方法-201280031453.X
- 帕特里克·加利克;朱利安·施奈德;迪莫斯·普利卡科斯;瓦希德·桑多达尔;穆罕默德·哈迪·埃格利迪 - 苏黎世联邦理工学院
- 2012-06-25 - 2014-03-05 - B81C99/00
- 提出了一种通过具有至少为50nm的外部直径(3,D)的用于保持墨的液体储存器(2)由溶液(6)制造纳米尺度或微米尺度的1D、2D和/或3D沉积物的方法,其中在毛细管(2)中提供有与所述墨(6)接触的电极(7、8或9),并且其中在待在其上制造沉积物的衬底(15)中和/或上和/或下方和/或上方存在对电极,该方法包括以下步骤:i)保持电极(7、8、9)与对电极(15、18)处于基本等电位;ii)在电极(7、8、9)与对电极(15、18)之间建立电位差,该电位差导致在喷嘴(3)处墨弯液面(1)的生长,并且导致在该弯液面处具有小于弯液面尺寸(11)的均匀尺寸的液滴以均匀喷出频率喷出;保持所施加的电压,而液滴被连续干燥留下分散的材料,导致具有与单个液滴基本相同的直径的结构的出现,其中至少在纳米液滴(13)喷出的时刻(12),衬底(1)与喷嘴(3)之间的距离小于或等于弯液面直径的20倍;其中墨(6)的导电率足够高以使液体弯液面在液滴喷出期间稳定。
- 用于生产复杂的光滑微机械零件的方法-201280007435.8
- P·卡森;D·理查德;P·杜博瓦 - 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
- 2012-01-05 - 2013-10-09 - B81C99/00
- 本发明涉及一种用单件材料生产微机械零件(11,21,31,41,51,61)的方法。该方法包括以下步骤:a)形成基材(1),所述基材包括用于制造所述微机械零件的负腔(3);b)用材料的层(5)覆盖基材(1)的所述负腔;c)从基材(1)移除比所沉积的层(5)的厚度(e1)更大的厚度(e2),从而留下所述所沉积的层的位于所述负腔中的部分;d)移除基材(1),从而释放在所述负腔中形成的微机械零件(11,21,31,41,51,61)。
- 具有高长径比的铸塑聚合物层-200980163364.9
- D·西亚姆皮尼;L·维塔尔伯 - 好利获得股份公司
- 2009-12-14 - 2012-12-19 - B81C99/00
- 本发明涉及一种器件,它包括与生物溶液或流体接触使用的具有高长径比的构图聚合物层,以及生产所述层的方法,该方法包括聚合模塑阶段,所述聚合模塑阶段使用丙烯酸类和/或环氧可聚合材料以及有机或无机性质的模具。
- 制备含硅陶瓷结构的方法-200980111857.8
- M·克内;V·贝克;J·奥贝尔勒 - 罗伯特.博世有限公司
- 2009-03-31 - 2011-03-02 - B81C99/00
- 本发明涉及一种制备含硅陶瓷结构(3)的方法,其中,在基质(2)的表面上提供陶瓷前体聚合物结构(1),其中,所述陶瓷前体聚合物选自聚硅氧烷、聚碳硅烷、聚硅氮烷和/或聚脲硅氮烷,并且其中,所述陶瓷前体结构(1)在基材(2)上被陶瓷化。在本发明方法中,所述陶瓷前体聚合物结构(1)的高度≤20μm,并且垂直于其纵轴(a,a′)的宽度≤500μm。本发明还涉及根据本发明获得的含硅陶瓷结构(3)以及包含这种结构的传感器。
- 专利分类