[发明专利]具有顺应性触件的微拾取阵列有效

专利信息
申请号: 201480031951.3 申请日: 2014-05-23
公开(公告)号: CN105263854B 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: A·比布尔;D·格尔达 申请(专利权)人: 苹果公司
主分类号: B81C99/00 分类号: B81C99/00;H01L21/67;H01L23/00;H01L21/683;B25J15/00;H01L21/768
代理公司: 北京市金杜律师事务所11256 代理人: 王茂华,张宁
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种用于从承载衬底转移微型器件的微拾取阵列。在一个实施例中,微拾取阵列(104)包括用于将操作电压从电源递送到静电转移头部阵列(114)的顺应性触件(108)。该顺应性触件可相对于所述微拾取阵列的底部衬底(214)移动。
搜索关键词: 具有 顺应性 拾取 阵列
【主权项】:
一种微拾取阵列,包括:底部衬底,所述底部衬底具有通孔;膜,所述膜在所述通孔之上;插头,所述插头在所述通孔内并且由所述膜支撑,其中间隙使所述插头与所述底部衬底分开;和静电转移头部阵列,所述静电转移头部阵列与所述插头电耦接。
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