[发明专利]测量结构和对测量结构进行测量的测量方法有效

专利信息
申请号: 201410597136.5 申请日: 2014-10-29
公开(公告)号: CN105628722B 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: 岳力挽;蔡博修 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01N23/2251 分类号: G01N23/2251
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 艾春慧;吴贵明
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供了一种测量结构和对测量结构进行测量的测量方法。测量结构包括测量图形和基本定位图形,每个测量图形均有一个基本定位图形与之对应以在测量时根据该基本定位图形对该测量图形进行基本定位,测量图形的数量大于基本定位图形的数量,至少两个测量图形与同一个基本定位图形对应设置以在测量时根据该同一个基本定位图形对该至少两个测量图形进行基本定位。根据本申请的测量结构和对测量结构进行测量的测量方法,可以节约测量所需的总时间,进而提高测量工序的产量。进一步地,可以减少基本定位图形的设置,还可以相应减少测量结构占用的布置区域。
搜索关键词: 测量 结构 进行 测量方法
【主权项】:
1.一种测量结构,所述测量结构包括测量图形和基本定位图形,每个所述测量图形均有一个基本定位图形与之对应以在测量时根据该基本定位图形对该测量图形进行基本定位,其特征在于,所述测量图形的数量大于所述基本定位图形的数量,至少两个所述测量图形与同一个所述基本定位图形对应设置以在测量时根据该同一个基本定位图形对该至少两个测量图形进行基本定位;每个所述基本定位图形对应一个测量区域,其中,与每个所述基本定位图形对应的各测量图形均位于相应的基本定位图形所在的测量区域内。
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  • 2019-03-11 - 2019-06-14 - G01N23/2251
  • 一种快速铝电解电容器阳极腐蚀箔蚀孔分析方法,使用三氧化铬‑磷酸电解对腐蚀箔进行电解抛光,得到微观孔洞结构的电镜图片,通过图像处理并对形状因子进行区分,采用圆形模型或方形模型对数据进行处理,得到腐蚀孔特征参数。利用控制不同放大倍数下的形状因子区别单孔及并孔,达到准确快速量化分析腐蚀箔形貌各特征参数及指标的目的。利用平均单孔孔径、单孔占比、并孔占比、发孔密度、腐蚀率等腐蚀孔特征参数,达到指导工艺调整的目的,较之前人工数孔统计的方法大大提高了工作效率及分析精度。为铝电解电容器阳极腐蚀箔工艺调整提供了新的分析方法。
  • 一种陶瓷基复合材料力学性能快速表征的方法-201910238696.4
  • 段小明;朱启帅;贾德昌;何培刚;杨治华;蔡德龙;卫增岩 - 哈尔滨工业大学
  • 2019-03-27 - 2019-06-11 - G01N23/2251
  • 一种陶瓷基复合材料力学性能快速表征的方法,本发明涉及陶瓷基复合材料力学性能的表征方法。解决传统陶瓷基复合材料在力学性能测试中制样复杂、试样消耗多、实验过程重复,且单点采样数据代表性差,分次采样数据误差大的问题。制备方法:一、切割;二、表面粗糙度处理;三、试样固定;四、表面纳米压痕处理;五、数据处理及绘制性能分布图,即完成一种陶瓷基复合材料力学性能快速表征的方法。本发明用于陶瓷基复合材料力学性能的快速表征。
  • 一种植物叶片单位面积滞尘量的微区测量方法-201811463200.5
  • 郑伟;张杰;徐晓丹 - 昆明理工大学
  • 2018-12-03 - 2019-06-07 - G01N23/2251
  • 本发明公开了一种植物叶片单位面积滞尘量的微区测量方法,本发明将采集的洗脱前的滞尘植物叶片,制备成扫描电镜样品并获得SEM电镜图,然后对图像进行多次处理得到叶片滞尘颗粒物在叶片表面的投影面积,通过计算得到滞尘颗粒物TSP当量体积,代入滞尘颗粒物TSP的密度,最后得出单位面积植物叶片滞尘量;由此说明本发明可以有效地用于植物叶片单位面积滞尘量的测量,可为植物滞尘的标准化和滞尘植物的优选奠定理论基础。
  • 一种电子束图像的水果表面缺陷检测方法-201910206077.7
  • 梁志杰;江志安;毛浩 - 湖州灵粮生态农业有限公司
  • 2019-03-19 - 2019-05-31 - G01N23/2251
  • 本发明涉及农产品无损检测领域,尤其是一种电子束图像的水果表面缺陷检测方法。首先建立水果表面缺陷等级模型,依次采集表面不同缺陷等级的水果的电子束辐照图像,将图像转化为特征参数导入系统内作为对比样本;对实测水果进行检测:首先用电子束辐照待测水果表面,用信号检测系统接收到待测水果在电子束作用下产生的物理信号,再经过视频放大系统显像,获得样品至少6个面的特征参数;将实测水果的特征参数与对比样本比较,预测实测水果的表面缺陷等级。该方法通过电子束辐照水果表面,激发出各种物理信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得水果表面形貌的观察。本发明能够实现无损检测,且无需人工判断,易于操作,适用范围广。
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