[发明专利]用于带电粒子显微术的冷冻样本的制备有效
| 申请号： | 201410519575.4 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104517791B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | H-W.米格;K.斯穆德斯-维梅斯;M.M.奧维斯延科;K.S.萨德;F.尼佩斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N1/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 申屠伟进,刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制备用于在带电粒子显微镜中进行研究的样本的方法，包括如下步骤‑提供基本上平板状的样本保持架，该保持架具有相对的、基本上彼此平行的第一和第二主表面，包括至少一个孔隙，所述孔隙连接所述主表面，并且隔膜越过该孔隙跨越在所述第一主表面上，隔膜包括至少一个穿孔；‑使含水液体膜跨越所述穿孔，该液体包括悬浮在其中的至少一个研究样品；‑把样本保持架投入到冷冻剂溶液上，由此样本保持架被保持为所述第一主表面指向冷冻剂并且布置为基本上平行于冷冻剂的暴露表面，还包括下列步骤‑紧接在膜与所述冷冻剂接触之前，把发射的冷冻流体从指向所述第二主表面的喷嘴施加到所述膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子 显微 冷冻 样本 制备 | ||
【主权项】：
一种制备用于在带电粒子显微镜中进行研究的样本的方法，包括如下步骤：‑提供平板状的样本保持架，所述保持架具有相对的、彼此平行的第一和第二主表面，包括至少一个孔隙，所述孔隙连接所述主表面，并且隔膜越过所述孔隙跨越在所述第一主表面上，所述隔膜包括至少一个穿孔；‑使含水液体膜跨越所述穿孔，所述液体包括悬浮在其中的至少一个研究样品；‑把样本保持架投入到冷冻剂溶液上，由此样本保持架被保持为所述第一主表面指向冷冻剂并且布置为平行于冷冻剂的暴露表面，其特征在于：‑紧接在所述膜与所述冷冻剂接触之前，把发射的冷冻流体从指向所述第二主表面的喷嘴施加到所述膜。
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- 2019-03-13 - 2019-08-23 - H01J37/20
- 本实用新型涉及扫描电镜用样品台领域，提供一种观察粉体的扫描电镜用样品台，包括桶状台体和硅板，硅板上的凸起与台体上部的内壁采用插入式过盈配合安装在一起。硅板上设有凹槽，凹槽内设有渗液孔，台体的侧面底部设有液体流失孔。本样品台可同时观察多个样品，不需要使用导电胶带，而且用后进行清洗完可重复使用，减小了样品的制备难度，提高了工作效率，解决了粉体样品制样过程中的耗时耗力、浪费材料的技术问题，是扫描电镜用样品台方面的创新。
- 离子注入装置-201610831654.8
- 二宫史郎;冈本泰治;越智昭浩;上野勇介 - 住友重机械离子技术有限公司
- 2016-09-19 - 2019-08-20 - H01J37/20
- 本发明提供一种兼顾离子注入处理的生产率与晶片面内的不均匀注入精度的离子注入装置。本发明的离子注入装置(10)对同一晶片连续执行注入条件不同的多个离子注入工序。多个离子注入工序中，(a)以晶片的扭转角互不相同的方式设定各注入条件，(b)构成为对在往复运动方向上运动的晶片处理面照射往复扫描的离子束，并且(c)对应于晶片的往复运动方向的位置，以可改变照射到晶片处理面的离子束的射束电流密度分布的目标值的方式设定各注入条件。控制装置在对同一晶片连续执行多个离子注入工序之前，执行设置工序，该设置工序中，统一确定作为多个离子注入工序的各注入条件而设定的与射束电流密度分布的多个目标值对应的多个扫描参数。
- 扫描电子显微镜温度调节系统及方法-201910414186.8
- 陈六彪;王俊杰;崔晨;顾开选 - 中国科学院理化技术研究所
- 2019-05-17 - 2019-08-16 - H01J37/20
- 本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供扫描电子显微镜温度调节系统及方法，该扫描电子显微镜温度调节系统，包括：加热元件、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括低温冷却装置和样品台，所述低温冷却装置用于为所述样品台提供冷量，所述加热元件用于为所述样品台提供热量，所述低温冷却装置位于所述第一真空腔体的内部，所述加热元件和所述样品台均位于所述第二真空腔体的内部。该扫描电子显微镜温度调节系统通过低温冷却装置为样品台提供冷量，加热元件为样品台提供热量，能够实现样品台的宽温区覆盖和高精度控温。
- 透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置-201821995983.7
- 谭军;邰凯平;赵洋;康斯清 - 中国科学院金属研究所
- 2018-11-30 - 2019-08-16 - H01J37/20
- 本实用新型涉及材料测试领域，具体为一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置。该装置包括样品杆、转接密封带法兰套管、密封法兰及波纹管套管和X‑Y‑Z三维滑台及支架，转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端，其内壁与样品杆间使用密封圈进行真空密封；转接密封带法兰套管置于波纹管套管内，其外壁使用密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封；X‑Y‑Z三维滑台通过滑台支架固定在密封法兰和波纹管套管上，实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转。本实用新型极大地方便样品的加工和显微结构分析，提高工作效率，广泛适用于各种型号的透射电镜、扫描电镜和聚焦离子束电镜。
- 一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台-201920227449.X
- 马亚鑫;甘岑;黄鑫;徐成双;曾春岳;杨龙 - 成都航空职业技术学院
- 2019-02-20 - 2019-08-06 - H01J37/20
- 本实用新型公开了一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台，其包括底座，底座上设置有夹持片，夹持片为两个相对对称并倾斜设置的金属片；底座上还设置有固定孔，固定孔为方孔，固定孔的四角分别设置有延伸槽，延伸槽与固定孔共同构成井字型结构。本实用新型能够解决现有技术中样品台不适合防止不规则结构的问题，结构简单、可靠性强、使用寿命长。
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