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公布日期
2019-09-10 公布专利
2019-09-06 公布专利
2019-09-03 公布专利
2019-08-30 公布专利
2019-08-27 公布专利
2019-08-23 公布专利
2019-08-20 公布专利
2019-08-16 公布专利
2019-08-13 公布专利
2019-08-09 公布专利
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专利权人
国家电网公司
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浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
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配线和薄膜晶体管阵列面板的制造方法及有机发光显示器有效

申请号: CN201410195634.7 全文下载
申请日: 2014-05-09 公开/公告日: 2019-04-05
公开/公告号: CN104143563B 主分类号: H01L27/32
申请/专利权人: 三星显示有限公司
发明/设计人: 尹秀娟;孙东珍
分类号: H01L27/32;H01L21/77;H05K3/46
搜索关键词: 薄膜晶体管 阵列 面板 制造 方法 有机 发光 显示器
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【摘要】:
发明公开了一种配线和薄膜晶体管阵列面板的制造方法及有机发光显示器。所述配线的制造方法包括:在基板上形成下层;在所述下层上形成中间层;在所述中间层上形成上层;在所述上层上形成、曝光并显影光刻胶层以形成光刻胶图案;并且通过将所述光刻胶图案用作掩膜刻蚀所述上层、所述中间层和所述下层,以形成配线,使得所述上层覆盖所述中间层的端部。
 
【主权项】:
1.一种制造配线的方法,包括在基板上形成下层;在所述下层上形成中间层;在所述中间层上形成上层;使用显影工艺在所述上层上形成光刻胶图案;以及通过将所述光刻胶图案用作掩膜刻蚀所述上层、所述中间层和所述下层来形成配线,其中所述配线具有三层结构,所述三层结构具有所述下层、所述中间层和所述上层,并且其中所述上层覆盖所述中间层的端部的侧面。
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