[发明专利]低碳的III族元素氮化物晶体无效

专利信息
申请号: 201410094204.6 申请日: 2014-03-14
公开(公告)号: CN104047054A 公开(公告)日: 2014-09-17
发明(设计)人: J.施密特;P.卢 申请(专利权)人: 氮化物处理股份有限公司
主分类号: C30B29/38 分类号: C30B29/38;C30B25/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 马蔚钧;杨思捷
地址: 美国堪*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明总体而言涉及用于制备和使用III族元素氮化物晶体的系统和方法,该晶体在一定波长范围内具有增强或提高的紫外透明度。该晶体还可以用于诸多UV光学器件和UV光学半导体装置中。
搜索关键词: iii 元素 氮化物 晶体
【主权项】:
III族元素氮化物晶体,其包含:具有低于约2×1018原子/cm3的碳浓度或低于约2×1018原子/cm3的硅浓度中至少一者的晶格结构;其中所述III族元素氮化物晶体在约300nm或以下的波长处是UV透明的。
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