[发明专利]复合铜线互连结构及形成方法有效
| 申请号： | 201410028901.1 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103943604B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | F·安德森;何忠祥;A·K·斯坦珀 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 各种实施例包括互连结构以及形成这种结构的方法。互连结构可以包括复合铜线，所述复合铜线包括至少两个不同的铜部分。最上面的铜部分可以具有大约1微米或更小的厚度，这抑制最上面部分中的表面粗糙化，并且有助于增强与覆层的帽粘附。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 铜线 互连 结构 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种互连结构，包括：具有凹口的衬底，所述凹口具有底表面和侧壁；在衬底中凹口内形成的复合铜线，所述复合铜线包括：在所述凹口的底表面和侧壁之上的衬垫层；在所述衬垫层之上的第一铜层，所述第一铜层具有大约两微米或更大的第一厚度；在所述第一铜层之上的铜晶粒生长阻挡层；以及在所述铜晶粒生长阻挡层之上的第二铜层，所述第二铜层具有基本上比第一厚度小的第二厚度，所述第二厚度抑制第二铜层中的表面粗糙度。
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