[发明专利]测量力的测量元件、测量体和测量装置以及这种测量体的应用有效
申请号: | 201380032957.8 | 申请日: | 2013-06-20 |
公开(公告)号: | CN104395720B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 丹尼斯·科勒 | 申请(专利权)人: | 基斯特勒控股公司 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L5/16 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 黄艳,聂慧荃 |
地址: | 瑞士温*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种由对称型32的压电晶体制成的测量元件,用于测量垂直作用于x‑y平面上的力Fz,其中,力Fz导致在测量元件的接受力的表面(5,5′)上发生电荷集聚。在实际应用中需要进行测量,在测量时,正交于力Fz的横向力Fxy在测量体(2)上是可预期的,横向力在测量元件上产生误差信号。根据本发明,测量元件由至少四个、优选八个相同类型的测量元件区段(7)构成,所述测量元件区段具有直的侧面(8,8′),其中,所述区段(7)在所述x‑y平面中相互接近地并排设置,并在所述侧面(8,8′)上通过狭窄的间隙(9)彼此间隔开,其中,所述区段一起构成圆盘或有孔圆盘(10)的形状,以减少由横向力Fxy在测量元件上引起的干扰信号。此外,晶体方向(11)在所有区段(7)的x‑y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。 | ||
搜索关键词: | 测量 元件 装置 以及 这种 应用 | ||
【主权项】:
一种测量元件,由对称型32的压电晶体制成,所述测量元件在x‑y平面中被设计为平的,以安装在测量体(2)中用于测量垂直于所述x‑y平面作用的力Fz,其中,力Fz导致在所述测量元件的接受力的表面(5,5′)上发生电荷集聚,所述表面配置有电极(6,6′),其中,在测量时,在所述测量体(2)上正交于所述力Fz的横向力Fxy是可预期的,所述横向力在所述测量元件上产生误差信号,其特征在于,所述测量元件由至少四个相同类型的测量元件区段(7)构成,所述测量元件区段具有直的侧面(8,8′),其中,所述区段(7)在所述x‑y平面中相互接近地并排设置,并在所述侧面(8,8′)处通过狭窄的间隙(9)彼此间隔开,其中,所述区段一起构成圆盘或有孔圆盘(10)的形状,以减少由横向力Fxy在所述测量元件上引起的干扰信号,其中,晶体方向(11)在所有区段(7)的x‑y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。
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