[发明专利]磁性轴承装置及真空泵

摘要

本发明关于一种磁性轴承装置及真空泵，可以获得基本上无尖峰噪声影响的磁悬浮信息。磁性轴承装置包括：多个激磁放大器，将重叠有传感器载波信号的电磁铁电流供给至各磁轴承电磁铁；及控制部，对来自多个电流传感器的电流检测信号、及将与一对磁轴承电磁铁相关的一对电流检测信号相加所得的和信号进行模拟数字采样，而取得磁悬浮信息，基于磁悬浮信息而对激磁放大器进行脉宽调制控制；且以使脉宽调制载波信号的接通占空比区间(Ton)的长度一直比规定时间范围(Td)更长的方式进行脉宽调制控制。由此，通过在从接通占空比区间(Ton)的开始时间起经过规定时间(Td)之后进行模拟数字采样，而可以取得基本上无尖峰噪声影响的磁悬浮信息。

主权项

一种磁性轴承装置，其特征在于包括：一对电磁铁，针对多个控制轴的每一个而设置，且相对于旋转轴而对向配置；多个激磁放大器，对施加至所述各电磁铁的电压进行脉宽调制控制，且将重叠有用来侦测所述旋转轴的悬浮位置变化的传感器载波信号的电磁铁电流供给至所述各电磁铁；多个电流传感器，检测所述电磁铁电流；及控制部，对来自所述多个电流传感器的电流检测信号、及将与所述一对电磁铁相关的一对所述电流检测信号相加所得的和信号进行模拟数字采样，而取得所述旋转轴的磁悬浮信息，基于所述磁悬浮信息而对所述激磁放大器进行脉宽调制控制；所述控制部是以使脉宽调制载波信号的接通占空比区间或断开占空比区间的长度一直比基于电磁铁电流中产生的尖峰噪声的衰减特性所得的规定时间范围更长的方式进行脉宽调制控制，且在从所述接通占空比区间或所述断开占空比区间的开始时间起经过所述规定时间范围之后进行所述模拟数字采样。