[实用新型]一种掩模板

摘要

本实用新型提供了一种掩模板，所述掩模板包括相互对合的上、下基板、封装于所述上、下基板之间的液晶分子、贴附于上基板和下基板外表面且上下对称的电极。本实用新型通过利用液晶分子的特性，在相互对合的上、下基板之间封装液晶分子，通过外加电压选择性地控制贴附于上、下基板外表面且上下对称的电极，进而控制上下对称的电极之间的液晶偏转，实现透光区和非透光区的互补切换，使得同一块掩模板既适用于正性光刻胶，又适用于负性光刻胶，克服了常规掩模板局限固定类型光刻胶的缺点，实现了一板多用，为掩模板的设计和光刻胶的选择扩充了空间，解决了因光刻胶的更换而导致的MASK制作成本和生产周期等问题。

主权项

一种掩模板，其特征在于，所述掩模板包括相互对合的上、下基板、封装于所述上、下基板之间的液晶分子、位于上、下基板外表面且上下对称的电极。