[发明专利]外延衬底有效
| 申请号： | 201210085292.4 | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103367556A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 魏洋;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种外延衬底，包括：一基底，所述基底具有一外延生长面，该外延生长面具有多个凸起部与多个凸起；以及一碳纳米管层，该碳纳米管层设置于所述基底的外延生长面，并覆盖所述多个凸起部与多个凸起；其中，所述碳纳米管层与所述基底的外延生长面接触设置，所述碳纳米管层的起伏趋势与所述外延生长面的起伏趋势相同。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 衬底 | ||
【主权项】：
一种外延衬底，包括：一基底，所述基底具有一外延生长面，该外延生长面具有多个凸起部与多个凸起；以及一碳纳米管层，该碳纳米管层设置于所述基底的外延生长面，并覆盖所述多个凸起部与多个凸起；其特征在于，所述碳纳米管层与所述基底的外延生长面接触设置，所述碳纳米管层的起伏趋势与所述外延生长面的起伏趋势相同。
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