[发明专利]批处理式基板处理装置

摘要

公开了一种批处理式基板处理装置。本发明的一实施例涉及的批处理式基板处理装置（1），包括：基板处理部（400），用于处理基板（10）；移送部（200、300），用于移送基板（10）；以及冷却部（500），用于冷却完成基板（10）处理的基板（10）；基板处理部（400）包括：腔室（430），提供对基板（10）进行基板（10）处理的空间；晶舟（440），设置在腔室（430）内部，用于以多层方式装载基板（10）；支架（450），以多层方式可拆装地设置在晶舟（440）上，用于支承基板（10）；以及多个基板支承柱（460），形成在支架（450）上，用于支承基板（10）。

主权项

一种批处理式基板处理装置，其特征在于，包括：基板处理部，用于处理基板；移送部，用于移送所述基板；以及冷却部，用于冷却完成基板处理的所述基板；所述基板处理部包括：腔室，提供对所述基板进行基板处理的空间；晶舟，设置在所述腔室内部，用于以多层方式装载所述基板；支架，以多层方式可拆装地设置在所述晶舟上，用于支承所述基板；及多个基板支承柱，形成在所述支架上，用于支承所述基板。