[发明专利]一种TFT阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供一种TFT阵列基板及其制造方法，涉及液晶显示器的制造领域，以解决像素开口率低的问题。该TFT阵列基板制造方法，包括：在基板上涂布栅金属层，通过构图工艺处理得到栅线、栅极和第一电容线；在栅线、栅极、第一电容线上涂布栅绝缘层；在栅绝缘层上形成半导体有源层；在半导体有源层上涂布数据金属层，通过构图工艺处理得到数据线、源极、漏极，以及与漏极连接的第二电容线；其中，第二电容线与第一电容线相互对应；在数据线、源极、漏极、第二电容线上涂布保护层，并在漏极上方形成过孔；在保护层上形成像素电极层，像素电极层通过过孔与所述漏极连接。本发明用于制造TFT阵列基板。

主权项

一种TFT阵列基板制造方法，其特征在于，包括：在基板上涂布栅金属层，通过构图工艺处理得到栅线、栅极和第一电容线；在所述栅线、栅极、第一电容线上涂布栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成半导体有源层；在所述半导体有源层上涂布数据金属层，通过构图工艺处理得到数据线、源极、漏极，以及与所述漏极连接的第二电容线；其中，所述栅极、源极、漏极与所述半导体有源层构成TFT，所述第二电容线与所述第一电容线相互对应；在所述数据线、源极、漏极、第二电容线上涂布保护层，并在所述漏极上方形成过孔；在所述保护层上形成像素电极层，所述像素电极层通过所述过孔与所述漏极连接。