[发明专利]用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统无效
| 申请号： | 201110120581.9 | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102185860A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 徐华 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H04L29/06 | 分类号： | H04L29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统，包括中央控制模块，对驱动系统进行初始化并创建TCP/IP套接字；EPICS协议通信模块，通过TCP/IP套接字建立与客户端的通信连接，并采用EPICS协议与客户端进行通信，接收来自客户端的设备操作请求及与客户端交换通道数据；配置模块，用于生成变化参数配置文件以配置驱动系统中的变化参数；数据模块，用于存储来自EPICS协议通信模块的通道数据；设备驱动模块，处理设备操作请求，并根据数据模块存储的通道数据以及配置模块配置后的变化参数控制硬件设备。本发明可以高效调度和处理各个控制子系统对集成电路制造设备的各种硬件设备的大量操作请求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成电路 制造 设备 标准化 底层 控制 驱动 系统 | ||
【主权项】：
一种用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统，所述标准化底层控制驱动系统用于接收来自客户端的设备操作请求，并根据所述设备操作请求控制硬件设备，所述标准化底层控制驱动系统包括：中央控制模块，所述中央控制模块对所述驱动系统进行初始化并创建所述驱动系统的TCP/IP套接字以与客户端进行通信；EPICS协议通信模块，所述EPICS协议通信模块通过所述TCP/IP套接字建立与所述客户端的通信连接，并采用EPICS协议与所述客户端进行通信，接收来自所述客户端的设备操作请求及与所述客户端交换通道数据；配置模块，所述配置模块用于生成变化参数配置文件以配置所述驱动系统中的变化参数；数据模块，所述数据模块用于存储所述来自所述EPICS协议通信模块的通道数据；和设备驱动模块，所述设备驱动模块处理所述设备操作请求，并根据所述数据模块存储的通道数据以及所述配置模块配置后的变化参数控制硬件设备。
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