[发明专利]利用带电粒子研究或修改样品的装置有效
| 申请号： | 200910253908.2 | 申请日： | 2005-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101714491A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 克劳斯·埃丁格;约瑟夫·塞尔迈尔;托尔斯滕·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 纳沃技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;俞波 |
| 地址： | 德国罗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 利用带电粒子研究或修改样品的装置。所述装置具体为扫描电子显微镜，所述样品具有样品表面，所述装置包括：带电粒子束；导电屏蔽元件，具有用于使所述带电粒子束穿过的开孔；其中所述屏蔽元件以使所述屏蔽元件不接触所述样品的距离位于所述样品上方；其中在所述屏蔽元件和所述样品表面之间的距离小于50微米，其特征在于，所述屏蔽元件的开孔在至少一个方向上的尺寸小于50微米。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 带电 粒子 研究 修改 样品 装置 | ||
【主权项】：
利用带电粒子对样品进行研究和/或修改的装置，具体是扫描电子显微镜，所述样品具有样品表面，所述装置包括：a.带电粒子束(1，2)；b.导电屏蔽元件(10)，具有用于使所述带电粒子束(1，2)穿过的开孔(30)；c.其中所述屏蔽元件以使所述屏蔽元件不接触所述样品的距离位于所述样品上方；d.其中在所述屏蔽元件和所述样品表面之间的距离小于50微米，其特征在于，e.所述屏蔽元件中的开孔(30)在至少一个方向上的尺寸小于50微米。
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